Блок-схемы системы доставки суспензии на предприятие ОАО «Микрон»

Основные технологические этапы работы на данных установках покажем на примере блок-схемы системы доставки суспензии на предприятие ОАО «микрон».

          Система разработана компанией арлекид,  данная система выполняет все требования технологического процесса по качеству доставляемой суспензию. также данная система была оптимизирована и обеспечивает наилучшее соотношение цена качество. На технологическом производстве предприятия  микрон используются два типа сумпензии. Для доставки этих двух типов суспензии используют две единицы оборудования, имеющего некоторые различия.

          Для суспенхии 30N50 производства фирмой RHOM используется более простое оборудование доставки суспензии, главная функция которой является лишь доставка суспензии к основному технологичческомц оборудованию.

Для суспензии SSW 2000 производства фирмы CAbaot используется немного другой тип оборудования. Фирма cabot выпускае суспензию SSW2000 в двух видах первая это суспензия которая требует добовления пероксида водорода, данная суспензия имеет боле низкую стоимость и боле длительный срок хранения по сравнению со вторым типом суспензии SSW 2000 , в которую уже добавлено на заводе производителя перекись водорода. ворой тип суспензии является боле дорогим типом суспензии с меньшим сроком годности. Добавление перикиси водорода в состав суспензии является технологически необходимой требованием для производства микросхем по технологии эрропром. Суспензия без добовления перекиси водорода несмачивает пластину и процесс химико механического планиризации будет проходить без соответствуещего качества. С добавление в суспензии перекиси водорода позволит добится более лучшего качества смачивания поверхности пластины и процесс планиризации будет проходить боле качественно.

Рисунок 1 Смачивание поверхности суспензией с добавлением перекиси в состав и без перекиси

По скольку суспензия будет доставляться из Европы, доставка и растоможевание может занять длительное время, было принято решение закупать первый тип суспензии без добавления перекиси водорода. Данное решение позволит с экономить деньги на стоимости суспензии но потребует больших первоначальных затрат на оборудование доставки.

          Таким образом в данном дипломном проекте нами будет рассмотрено более сложный тип обородования. Данный тип оборудования по-мимо своей главной финкции доставки суспензии имеет функцию приготовлоения суспензии, тоесть добавление в изначальный состав определенной доли перекиси водорода.

Общее ОПИСАНИЕ СИСТЕМЫ.

Особенности системы доставки транспортировки суспензии слари(суспензия).

Данная система разрабортранна для предприятия оао «микрон» и используется таким образом  чтобы не привностить ни каких ионных загрязнений в исходную суспензию, по этому ионная чистота суспензии гарантируется на выходе из системы. Ионная чистота гарантируется только после проведения квалификации данной системы в Полном  соответствие стандартам SEMI. Одним  из основных стандартов SEMI F57, который описывает основные требования к наиболее важным компонентам системы, которые постоянно контактируют с жидкими химическими реагентами.

Что касается загрязнениями то данная система практически не привносит загрязнения частицами. Таким образов загрязнения частицами может возникнуть лишь в следствие человеческого фактора(неправильная заменяя бочки, фильтра, и другого технологического обслуживания, либо исходный хим реагент был изначально загрязнен).

Подробное описание системы

Рисунок 2 Блок схема системы приготовления и доставки суспензии SSW 2000

Система добавления суспензии с градиентом давления обеспечивает:

·  рециркуляцию в барабане;

·  выгрузку суспензии из барабана в смесительный резервуар/резервуар суточного запаса;

·  введение добавки в смесительный резервуар и подтверждение смешивания с помощью контроля;

·  постоянное распределение в контуре и регулирование давления.

·  Контроль качества суспензии на протяжение всего технологического процесса доставки приготовления и распределения суспензии 

Система добавления суспензии с градиентом давления состоит из следующих компонентов:

·  шкаф, содержащий контуры, необходимые для регулирования химического состава;

·  смесительный узел, содержащий дозатор и насос;

·  устройство для загрузки барабана;

·  два резервуара суточного запаса.

1)  Рецеркуляция в барабане:

Когда происходит смена барабана(бочки) сама суспензия является не гомогенизировано,     поскольку частички суспензии оседают на дно барабана. Когда новый барабан установлен и проверен, система начинает рециркуляцию суспензии из бочки в бочку через насос (первая петля рециркуляции). Благодаря этому происходит гомогенизация суспензии. Также поскольку барабан плотно закрыт используется азотная подушка для выравнивания давления чтобы не образовывался вакуум в системе и не происходило внесение загрязнений через грязный воздух помещения. Азот для азотной подушки обладает некоторыми особенностями: