Во-первых, данный азот является сверх-чистым поскольку проходит много стадийную очитку на специальных очистительном оборудование таким образов достигается класс чистоты равный!!!!!!!!!!!!!!.
Во вторых данный азот обладает 99% относительной влажностью. Такая степень влажности достигается в специальном аппарате увлажнителя, в котором ультра-чистый азот проходит через слой деионизованной воды и увлажняется. Такая высокая степень влажность необходима нам для поддержания постоянства состава суспензии. Если влажность будет ниже этой отметки то тогда качественный состав слари может поменяться в следствие испарения воды содержащейся в суспензии а это может быть критично для дальнейшего использования в процессе химико-механической планаризации пластин. Для определения наполненности бочки (имеется суспензия или нет) используется дешевая система на основе емкостного датчика, который определяет есть или нет жидкость в трубопроводе на выходе из барабана. (рис. поже). таким образом принцип работы основывается на подсчете количества пузырей прошедших через трубу и если будет зафиксировано больше определенного количества пузырей, то бочка считается пустой. Выводится сигнал тревоги «замените бочку».
2)выгрузку суспензии из барабана в смесительный резервуар/резервуар суточного запаса.
Когда суспензия в барабане готова и гомогенизирована, поступает запрос от контроллера на приготовление суспензии. Суспензия из барабана поступает в танк перемешивания, количество загружаемой в миксинг-танк (танк перемешивания) суспензии зависит от необходимого количества суспензии которой нужно приготовить уровень суспензии в миксинг-танке определяется по датчикам веса в то время как первый миксинг-танк заполняется исходной суспензией из второго миксин танка происходит распределение уже приготовленной суспензии к технологическому оборудованию. Для определения уровня суспензии в миксинг танке используют три датчика веса по следующим причинам:
- три датчика веса позволяют определять количество суспензии боле точно чем с одним датчиком. Такая точность необходима для выполнения точно заданного состава суспензии (состав суспензии может меняться в зависимости от требований основного производства).
В миксинг танке для гомогенизации используется специальная мешалка. мешалка выполнена из метала, но её особенностью является то, что данная мешалка с наружи покрыта слоем специального материала, не выделяющего примеси-частиц и ионов. Данный материал также соответствует стандарту семи 57. Так же как и в барабане (бочке) создается азотная подушка для выравнивания давления чтобы не образовывался вакуум в системе и не происходило внесение загрязнений. Кроме того для приготовления суспензии необходимо добавления деонизованной воды. Для добавление воды в миксинг танке подводится специально трубопровод с деонизованной водой.
Объем миксинг танка составляет 300 литров а материал из которого состаит танк является полиэтилен высокой плотности (HDPE).
3) Введение добавки в смесительный резервуар и подтверждение смешивания спомощью контроля.
В зависимости от требованной концентрации автоматически система добавляет Пероксид в специально расходную емкость, причем скорость загрузки перекиси регулируется расходомером. Количество Пероксид водорода в расходной емкости определяется датчиком веса. После того как в расходную емкость будет добавлено необходимое количество Пероксид водорода (в соответствие введенному рецепту), начинается цикл рециркуляции: сосуд - миксинг танк. Рециркуляция осуществляется с помощью пневматического насоса рециркуляция продолжается до тех пор пока весь Пероксид водорода не смешается со суспензией. В течение некоторого времени задаваемого в рецепте продолжается цикл рециркуляции. после истечения времени рециркуляции автоматическим титратором берется проба приготавлляемой суспензии. Титратор определяет содержание пероксида водорода в приготовляемой суспензии и если требуемое содержание пероксида водорода достигнуто контроллер считает что суспензия готово и миксинг танк с приготовленной суспензией ждет запрос на распределение.
4) постоянное распределение в контуре и регулирование давления.
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.