в котором с помощью прижимной гайки и прокладок закреплено зеркало, используют обычно трехточечную систему крепления к неподвижному фланцу. Последний выполняется в виде круглых или прямоугольных пластин. Для обеспечения угловых и линейных смещений подвижного фланца с зеркалом относительно неподвижного между ними устанавливаются деформируемые пружинящие элементы в виде стальных дисковых профилированных шайб, кольцевых резиновых прокладок, жестких пружин и т.п. [1, 13, 14 ] .
На рис.2.8 изображено юстировочное устройство, использующее пружинящую пластину с тремя упорами. При вращении юстировочных винтов упоры передают усилие пластине, которая деформируется. Создаваемая при этом противодействующая сила упругости пластины гарантирует жесткость положения зеркала. Неподвижный фланец здесь отсутствует. Для герметизации пространства зеркало-торец активного элемента использован пылезащитный стакан. Возможны и другие варианты герметизации.
Рис.2.7. Трехточечные юстировочные устройства:
1 - неподвижный фланец; 2 - подвижный фланец; 3 - пружинящая шайба; 4 - юстировочные винты; 5 - зеркало; 6 - прокладка: 7 - кольцевая гайка; 8 - распорный стержень; 9 - винт; 10 - кольцевая резиновая прокладка.
Рис.2.8. Вариант юстировочного устройства трехстержневого
резонатора: 1 - юстировочный винт (3 шт.); 2 - деформирующаяся пластина; 3 - подвижный фланец; 4 - зеркало; о - прижимная гайка; 6 - прокладки; 7 - упор (3 шт.); 8 - распорный стержень резонатора; 9 - торцевая часть активного элемента газоразрядного лазера; 10 - герметизирующая резиновая прокладка; 11 - накидная гайка; 12 - пылезащитный стакан.
В газоразрядных лазерах часто используют комбинированные или внутренние оптические резонаторы, когда одно или оба зеркала являются частью оболочки разрядной трубки. В изображенном на рис. 2.9 юстировочном устройстве внутреннего резонатора газового лазера в качестве упругого элемента использован металлический сильфон, приваренный роликовой сваркой к фланцам из нержавеющей стали. Юстировочные винты, растягивающие сильфон, обеспечивают фиксацию положения зеркала и удобство настройки резонатора.
Рис.2,9. Юстировочное устройство выходного зеркала С02-лазера с внутренним резонатором: 1 - торец наружной оболочки из кварцевого стекла; 2 - вакуумный клей 3 - опорный фланец; 4 - юстнровочные винты (3 шт.); 5 - подвижный фланец; 6 - стальной сильфон; 7 - выходное зеркало на германиевой подложке
Внутренние зеркала газоразрядных лазеров могут устанавливаться в держателях, вакуумноплотно соединенных с разрядной трубкой через сильфон и закрепленных в юстировочном устройстве (рис.2.10,а)
Устройство для фиксации зеркал, не требующее подъюстировки резонатора в процессе Эксплуатации лазера, может быть изготовлено с использованием материалов, обладающих пластичностью - способностью удерживать форму после деформации, например из железо-никелево-вольфрамового сплава (НАВИ). Такое устройство (рис.2.10,б) юстируется путем механической деформации пластичной втулки только в процессе изготовления лазера я в дальнейшем обеспечивает
Рис.2.10. Юстировочные устройства: а) с сильфоны: 1 - стекло;
2 - коваровые втулки; 3 - сильфон; 4 - припой;
5 - керамическая втулка; 6 - стеклоцемент или вакуумный клей; 7 - зеркало; б) с пластичным элементом: 1 - стеклянная оболочка: 2 - коваровый фланец;
3 -
пластичная втулка; 4 - зеркало; 5 - держатель
зеркала; 6 - стеклоцемент
Рис.2.11. Крепление неюстируемых зеркал непосредственно к торцу трубки (а) и через переходную втулку (б): 1 - разрядная трубка; 2 - вакуумный клей; 3 - подложка зеркала; 4 - отражающее покрытие; 5 - держатель зеркала
сохранение оптимальной настройки.
Варианты крепления неюстируемых внутренних зеркал газовых лазеров, представленные на рис.2.11, требуют шлифовки торцов разрядной трубки строго перпендикулярно ее оси.
Помимо котировочных устройств в резонаторе должен быть жестко закреплен и активный элемент лазера. Крепление A3 твердотельных лазеров рассмотрено в следующем разделе. В газоразрядных лазерах система крепления должна обеспечивать фиксацию A3 на оси ОР и возможность устранения искривлений разрядной трубки. Это особенно важно при малом диаметре и большой длине трубок. Крепление осуществляется с помощью двух и более пластин, фиксируемых винтами либо на распорных стержнях ОР (рис.2.12.а), либо на основании
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.