Физические основы технологий микро- и наноэлектроники

Конспекты лекций

• Базовые физико-химические методы создания микроэлектронных структур
• Металлические пленки для интегральных микросхем
• Наномашины и наноприборы. Микроэлектромеханические устройства – MEMS. Наноэлектромеханические системы
• Общая характеристика микроэлектроники. Основные определения. Изделия микроэлектроники, их классификация
• Свойства наночастиц и их характеристики. Геометрическая структура нанокластеров. Флуктуации
• Технология герметизации интегральных схем и микропроцессоров