Толстые пленки в микроэлектронике, страница 6

Включают в себя в качестве функционально фазы частицы металла и окисла металла. Частицы окисла металла, обладающие изоляционными и полупроводниковыми свойствами, «разобщают» частицы металла, которые в результате образую проводящие цепочки С уменьшением содержания металла удельное поверхностное сопротивление резистивных слое возрастает. Широкое применение находят серебряно-палладиевые резистивные пасты типа ПР, которые выпускают в двух сериях с удельным поверхностным сопротивлением 5 Ом — 50 кОм (ПР-5, ПР-20, . . . ПР-20К, ПР-50К) и 50 кОм— 1 МОм. Функциональная фаза состоит из палладия и Ag2O. В качестве конструкционной связки используют стекло № 660.

После смешивания измеряют удельное поверхностное сопротивление по методике, приведенной в ТУ на пасту, и при необходимости производят корректировку повторным добавлением и смешиванием.

К недостаткам серебряно-палладиевых резистивных паст относятся: высокая чувствительность к режимам термообработки, низкая стабильность к воздействию водорода (выделяется при разло­жении технологической органической связки) и высокая стоимость. Для прецизионных резисторов используют пасты на основе окиси рутения (RuO2) с добавками окислов различных металлов. [2]

1..5.1 Пасты для толстопленочных проводников

Для изготовления толстопленочных проводников применяются материалы трех типов: металл, или функциональный материал, стеклофаза, выполняющую роль постоянного связующего, и смесь несколько органических жидкостей. Каждый из этих компонентов играет свою роль в формировании свойств композиции. Металл (функциональный материал) обеспечивает образование проводящих дорожек, стекло удерживает частицы функционального материала в состоянии точечных контактов в течение обжига и как бы приклеивает проводник к подложке, органические жидкости делают смесь материалов пригодной для трафаретной печати.

·  Проводники в схемах выполняют следующие функции:

1.  Межсоединений между элементами схемы;

2.  Монтажных площадок для дискретных элементов и межсоединений других типов;

3.  Выводов резисторов;

4.  Электродов конденсаторов;

·  Проводниковые пасты должны обеспечивать, получение характеристик композиции (после вжигания):

1.  Высокую удельную проводимость во избежание заметного падения напряжения  нагрева.

2.  Высокую адгезию пленки с подложкой, поскольку непосредственно к ней присоединяются выводы и навесные элементы.

3.  Возможность присоединения к поверхностям проводников монтажных проводов  и навесных элементов.

4.  Композиция должна быть устойчива к воздействиям, связанным с выполнением технологических процессов, и выдерживать заданные условия эксплуатации.

1. Функциональные материалы.

В задачу функциональных материалов входят создание токопроводящих дорожек в композиции. Для проводниковых паст в качестве функциональных материалов используются материалы и их сплавы.

Для функциональных материалов проводниковых паст представляют следующие свойства: поверхностные характеристики порошков, химическая активность, простота приготовления, технологическая совместимость.

Удельное сопротивление композиции определяется сопротивлением контактов между металлическими частицами. Физико-химические свойства металлических поверхностей зависят, прежде всего, от степени их чистоты. Наиболее опасными являются окисные или нитридные пленки, которые образуются при обжиге в результате взаимодействия металла со стеклом или с газовой средой в печи. После обжига все металлические частицы оказываются покрытыми окисной пленкой, которая повышает контактное сопротивление и ухудшает спекаемость.

Образование поверхностных загрязнений частиц также сказывается на адгезионных свойствах композиции. На качестве монтажа проводников и дискретных элементов, выполняемого любым способом, сказывается чистота металлической поверхности. Любое ее загрязнение затрудняет монтаж. Неудаленные с помощью флюса окисные или нитридные пленки делают пайку невозможной.