Толстые пленки в микроэлектронике, страница 11

Для воспроизводимости результатов в пределах рабочего поля трафарета он должен иметь достаточно широкие нерабочее поля по периферии сетки. Оптимальный зазор между сеткой и подложкой зависит от габаритов сетки и должен обеспечивать хорошее пружинение сетки, от которого зависит четкость контура элементов. С уменьшение размеров трафарета жесткость сетки повышается и оптимальны зазор, уменьшается. Усилие на сетку со стороны ракеля выбирай: в пределах 10—20 Н. [1]...

Процесс нанесения пасты на подложку состоит в том, что она продавливается (метод экструзии) через отверстия трафарета и благодаря адгезии с поверхностью подложки удерживается на этой поверхности. Толщина осаждаемого материала зависит от толщины и конструкции трафарета, давления ракеля (лезвия из тонкого эластичного материала) и других факторов.

По мере движения ракеля вдоль трафарета паста заполняет его открытые участки. После того как ракель проходит через данную точку, трафарет больше не подвергается давлению и постепенно отходит от поверхности подложки. Высота положения ракеля регулируется так, чтобы он достаточно плотно прилегал к трафарету и создавал контакт между трафаретом и подложкой. Расстояние между трафаретом и подложкой обычно составляет 0,25 1,3 мм и зависит от размеров подложки, типа трафарета, реологии пасты.

Технологические факторы (скорость перемещения и давление ракеля, угол его наклона и плотность прилегания к поверхности трафарета) по-разному влияют на толщину, реологию, четкость и воспроизводимости печатных элементов. Влияние подложки определяется ее чистотой и шероховатостью поверхности, приемлемое значение которой составляет 0,3 0,6 мкм. Между толщиной и шириной линии рисунка существует сложная взаимосвязь, зависящая от многих факторов трафаретной печати. Характер зависимостей толщины и ширины линий в процессах сеткографии очень сложен и определяется видом насты, конструкцией сетки и параметрами ТП. Распределение пасты между поверхностями трафарета и подложки зависит от степени их смачиваемости пастой, а также шероховатости поверхности платы и адсорбции связующего компонента пасты поверхностью рисунка. Если поверхности подложки и трафарета эквивалентны и перемещаются с одинаковой скоростью, то паста должна распределяться примерно поровну между ними. Для улучшения коэффициента переноса пасты можно использовать электростатические методы.

Материал ракеля следует выбирать исходя из износоустойчивости и химической инертности, то есть устойчивости к растворителям. Применяют неопределенные и различные типы резин, однако в настоящее время наиболее распространены полиуретан и фторкаучук марки Вайтон. Важны формы ракеля и его жёсткость. Необходимо так же выбрать правильный угол наклона ракеля к экрану во время процесса печати так, чтобы учитывались малейшие неровности подложки. Угол наклона ракеля должен обеспечивать полную загрузку экрана в процессе печати, а так же обеспечивать необходимое усилие среза для срезания пасты непосредственно над отпечатком. Это усилие и жёсткость обычно оптимальны при угле наклона ракеля 45° и жёсткости около 55 дюрометров.[3]

При движении ракеля верхняя поверхность трафарета остается чистой, но при этом количество пасты, застывшей в нижней его части, не регулируется. Эта масса определяется реологией пасты и связанными с ней скоростью перемещения ракеля и временем отделения трафарета от подложки.

Распределение пасты между поверхностями трафарета и подложки зависит от степени их смачиваемости пастой, а также шероховатости поверхности платы и адсорбции связующего компонента пасты поверхностью рисунка. Если поверхности подложки и трафарета эквивалентны и перемещаются с одинаковой скоростью, то паста должна распределяться примерно поровну между ними. Для улучшения коэффициента переноса пасты можно использовать электростатические методы.