«Исследование физических свойств твердых тел», методические указания к лабораторным работам, страница 28

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

1. Чернышов А.В. Материаловедение в РЭС: учеб. пособие / А.В. Чернышов. – Воронеж: ГОУ ВПО «Воронежский государственный технический университет», 2009. – 150 с.

2. Павлов П.В. Физика твёрдого тела: учеб./ П.В. Павлов, А.Ф. Хохлов. – 3-е изд., стер. – М.: Высш.шк., 2000. – 494 с.

3. Чернышов А.В. Радиоматериалы. Ч.1: Органические и неорганические диэлектрические материалы: учеб. пособие / А.В. Чернышов. Воронеж: ГОУ ВПО «Воронежский государственный технический университет», 2007. – 187 с.

ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА №3

ИССЛЕДОВАНИЕ РАЗМЕРНОГО ЭФФЕКТА В ТОНКИХ ПЛЁНКАХ

1 ОБЩИЕ УКАЗАНИЯ

1.1. Цель работы

Изучение процессов конденсации, образования зародышей и роста тонких плёнок, исследование электрических свойств металлических тонких плёнок.

1.2. Содержание работы

В работе изучаются механизмы роста, структура и свойства тонких плёнок. Измеряются толщина приготовленных плёнок различных металлов (Cu, Ni, Al и др.), сопротивление каждого образца и рассчитываются удельное и удельное поверхностное сопротивление, а также параметры размерного эффекта.

Обучение осуществляется в процессе выполнения домашних и лабораторных заданий. Контроль усвоения полученных студентами знаний и навыков производится при собеседовании путем оценки ответов на контрольные вопросы, а также при выполнении лабораторной работы.

Время выполнения домашних заданий 3 ч. Общее время на выполнение лабораторных заданий, включая собеседование и отчет по лабораторной работе 4 ч.

1.3. Указания по технике безопасности

В процессе работы необходимо соблюдать общие правила техники безопасности при работе с электроустановками напряжением до 1000 В.

Шпиндель подвижной системы должен быть заарретирован при отсутствии в блоке испытуемого образца от арретира при установленном образце.

2. ДОМАШНИЕ ЗАДАНИЯ И МЕТОДИЧЕСКИЕ

УКАЗАНИЯ ПО ИХ ВЫПОЛНЕНИЮ

2.1. Задание № 1

Изучить механизмы роста и особенности структуры тонких металлических плёнок.