5. Опустите столик предметный кнопкой "Z-подъем"(повторное нажатие кнопки приводит к опусканию столика), включите режим "Ориентирование", выберите желаемую скорость (1 или 2). Переключателем «Х» включите манипулятор и, наблюдая через оптическую головку, поворотом щитка столика добейтесь параллельного, относительно оси «Х» перемещения подложки микросхем. Зафиксируйте столик предметный клапаном "Фиксация столика"(так как вакуум отсутствует постарайтесь больше не касаться щитка столика).
6. Переключите режим работы автомата на "Медленно" или "Очень медленно", выставьте контролируемую пластину относительно зондов так, чтобы зонды совпадали с контактными площадками, манипулируя переключателями "Х" и "У" .
7. При помощи регулировочных винтов головки совместите зонды с контактными площадками, обеспечив одновременное касание всех зондов в пределах 10 мкм (1 деление на лимбе механизма перемещения). В лабораторной работе эту операцию выполняет лаборант или преподаватель.
8. Опустите предметный столик кнопкой "Z-подъем", опустите держатель с помощью механизма перемещений на 60…80 мкм (1 деление лимба- 10 мкм).
При подъеме предметного столика убедитесь в срабатывании датчика края по загоранию лампы "Датчик края" (в лабораторном макете датчик края отсутствует и загорание лампы не происходит).
Пункты 9, 10 и 11 в лабораторной работе не выполняются:
9. Выставьте маркеры на проверяемую микросхему. При применении двух маркеров один следует устанавливать на предыдущую, а другой на последующую микросхему по отношению к проверяемой. Проверьте положение и размер маркированного пятна, совместив бачок маркера с негодной микросхемой, нажав кнопку "Контроль маркера" (в лабораторном макете маркеры отсутствуют).
10. В режиме "Непрерывно" установите столик с проверяемой пластиной в начальное положение. Установите переключатель рода работ в положение "Автоматический".
11. При первичном использовании зондов, в целях ускорения приработки контактирующих поверхностей и удаления окисных пленок рекомендуется произвести в режиме "Самоконтроль" пятиминутную наработку зондов, выставленных на чистую германиевую или кремниевую пластину, смоченную спиртом, при шаге 0,5 мм.
Для удобства проверки и наладки устройства "Зонд-5А"служит переходная плата 4.135.252 , входящая в комплект ЗИП.
12.Опытным путем подберите шаг перемещения столика по оси "У", чтобы зонды попадали на соответствующие контактные площадки пластины (платы), при одном нажатии на кнопку пуск "У-ось направление ↓ ↑". Контроль правильности выбранного шага осуществлять по наличию измерения сопротивления прибором Е7-13 при поднятии столика.
13.Аналогично подберите шаг перемещения столика по оси "Х", чтобы зонды попадали на соответствующие контактные площадки второго сегмента ИМС на пластине (плате), при нажатии на кнопку пуск "Х-ось направление← →". Ввиду большой величины линейных размеров фрагмента подбор перемещения выполняется за 2-3 шага.
14.После завершения настройки установки "Зонд-5А" произвести замеры сопротивления во всех точках платы и результаты измерений занести в табл.1.
Таблица 1.
|
Фрагмент |
№ измерения |
R, Ом |
|
№1 |
1 |
|
|
2 |
||
|
3 |
||
|
4 |
||
|
5 |
||
|
№2 |
1 |
|
|
2 |
||
|
3 |
||
|
4 |
||
|
5 |
Лабораторная работа завершается демонстрацией преподавателю результатов настройки установки "Зонд-5А".
4. ОФОРМЛЕНИЕ ОТЧЕТА
Отчет должен содержать: а) постановку задачи исследования; б) таблицы результатов измерений; в) структурную схему установки "Зонд-5А".
1.Перечислите основные технические характеристики установки "Зонд-5А".
2.Работа автомата в наладочном режиме.
3.Работа автомата в автоматическом режиме.
4.Поясните принцип работы автомата по структурной схеме.
5.Перечислите виды контроля при изготовлении ИМС.
6.Требования к электроприводам технологического оборудования микроэлектроники.
7.Принцип работы шагового двигателя с активным ротором.
8.Принцип работы шагового двигателя с пассивным ротором.
9.Основные компоненты информационно-измерительных систем (ИИС).
10.Микропроцессоры и микроЭВМ в ИИС.
Приложение 1.
Измеритель CLR типа Е7-13
1.Подготовка к проведению измерений
Установите тумблер "Сеть" блока питания в положение " ▌", при этом должно загореться цифровое табло.
Прогрейте прибор в течение 15 мин.
Произведите калибровку прибора в следующей последовательности:
установите переключатель "Род работы" и "Пределы измерения" в положение " ▼";
1) закоротите перемычкой входные гнезда "1" и "2";
2) компенсируйте входные параметры, вращая ручку потенциометра "К" до появления на цифровом табло "-0,00" или "0,00", или периодического мигания знака "-" при нулевых показаниях;
4) разомкните входные гнезда и, вращая ручку потенциометра "▼", установите калибровочное число "10,00".
Проведение измерений
Присоедините измеряемый объект к входным клеммам.
Переключатель "Род работы" (S1) установите в положение "GR"(измерение сопротивления), а переключатель "Пределы измерения" (S2) в 7-ое положение. Цифровое табло при этом мигает при раскороченных входных гнездах и не мигает при закороченных гнездах. Если прибор не индицирует перегрузку, то предел измерения уже выбран правильно, в противном случае следует вращать переключатель "S2" по часовой стрелке до прекращения мигания табло. Размерность измеряемого сопротивления считывают по положению запятой на табло согласно табл.2.
Таблица 2.
|
Положение переключателей |
Положение запятой |
Предел измерения |
Диапазон измеряемых величин |
|
|
Род работы (S1) |
Пределы измерения (S2) |
|||
|
GR |
" |
ХХ,ХХ |
10 Ом |
0,01….11,99 Ом |
|
ХХХ,Х |
100 Ом |
0,1….119,9 Ом |
||
|
ХХХХ |
1000 Ом |
1….1199 Ом |
||
|
"к |
ХХ,ХХ |
10 кОм |
0,01….11,99 кОм |
|
|
ХХХ,Х |
100 кОм |
0,1….119,9 кОм |
||
|
ХХХХ |
1000 кОм |
1….1199 кОм |
||
Рис.1
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.
"