Промышленность \ Расчет и проектирование нагревательных устройств и газовых систем оборудования

Расчет индукционного нагревательного устройства

Страницы работы

8 страниц (Word-файл)

Скачать файл

Содержание работы

МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ

(ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)

ДОМАШНЕЕ ЗАДАНИЕ №2

Тема: РАСЧЕТ ИНДУКЦИОННОГО НАГРЕВАТЕЛЬНОГО УСТРОЙСТВА.

Выполнил: студент группы ЭТМО-53а

Преподаватель: Самойликов В.К.

Москва 2005

Задание:

В кварцевой реакционной камере производится термическая обработка подложек, размещаемых на вращающемся подложкодержателе, изготовленном из графита. Для нагрева последнего используется индукционный метод.

Выполнить:

- электрический расчёт индукционного нагревательного устройства;

- расчёт системы водоохлаждения индуктора;

- расчёт конденсаторной батареи.

Наименование	Условное обозначение	Размерность	Данные
Внешний диаметр загрузки		мм	260
Высота загрузки		мм	520
Технологический зазор		мм	28
Толщина стенки реакционной камеры		мм	7
Зазор между индуктором и стенкой реактора		мм	29
Коэффициент заполнения индуктора		-	0,80
Расстояние между торцами индуктора и загрузкой		мм	85
Тепловые потери системы «Ин.-Загр.»		кВт	36
Температура охлаждённой волы на входе в индуктор		°С	26
Температура охлаждённой волы на выходе из индуктора		°С	56
Допустимые потери напора воды		кПа	100
Тангенс угла диэлектрических потерь		-	3.05
Коэффициент запаса батареи		-	1,24
Коэффициент неравномерности распределения теплового потока		-	0,38