Конструювання технологічного відсіку іонно-плазмовоїустановки для массового нанесення покриття

УДК ________

Інв. № _____

МІНІСТЕРСТВО  ОСВІТИ  І  НАУКИ  УКРАЇНИ

Національний аерокосмічний університет ім. М.Є. Жуковського “ХАІ”

КОНСТРУЮВАННЯ ТЕХНОЛОГІЧНОГОВІДСІКУ ІОННО-ПЛАЗМОВОЇУСТАНОВКИ

ДЛЯ МАССОВОГО НАНЕСЕННЯ ПОКРИТТЯ

Пояснювальна записка до курсової роботи

Спеціальність 7.100.102

2003

Реферат

Пояснительная записка: страниц    , рисунков    , таблиц    , приложений   , источников    .

Объект конструирования – технологический отсек для ионно-плазменной установки для массового нанесения покрытий.

Назначение технологического отсека – создание условий для нанесения покрытий на изделия.

Сфера использования – производство изделий широкого потребления.

В данной курсовой работе проведено конструирование технологического отсека, в частности разработана конструкция оснастки, обеспечивающая установку изделий различных размеров и форм, механизм планетарного вращения оснастки для более равномерного нанесения покрытий на изделия. Приведено описание технологического процесса.

Вакуумная камера, технологический отсек, оснастка, механизм вращения, коллекторный токосъемник.

СОДЕРЖАНИЕ

Перечень сокращений, условных обозначений, символов, единиц и терминов

Введение

1  Проектирование и конструирование технологического отсека

1.1  Выбор положения вакуумной камеры, ее размеров и материала

1.2  Проектирование и конструирование оснастки

1.3  Конструирование механизма вращения оснастки

1.4  Обеспечение различных типов движения оснастки

2. Описание технологического процесса

Выводы

Перечень ссылок

ПЕРЕЧЕНЬ СОКРАЩЕНИЙ, УСЛОВНЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ, СИМВОЛОВ, ЕДИНИЦ И ТЕРМИНОВ

ВВЕДЕНИЕ

ТЕХНИЧЕСКОЕ ЗАДАНИЕ

Разработать сборочный чертеж технологического отсека и сборочный чертеж оснастки установки для массового нанесения покрытий на изделия различной формы и размеров.

Привести описание технологического процесса.

1. Проектирование и конструирование технологического отсека

1.1  Выбор положения вакуумной камеры, ее размеров и материала

Технологический отсек представляет собой вертикально расположенную вакуумную камеру. Вертикальное положение продольной оси вакуумной камеры было выбрано исходя из следующего. Вертикальная установка оснастки в технологическом отсеке позволяет закреплять в ней любые, сколь угодно большие изделия, размеры которых согласуются с размерами рабочей зоны установки.

При вертикальном положении оснастки узлы крепления изделий, как правило, проще, а надежность закрепления изделий в оснастке выше.

Учитывая необходимость присоединения к вакуумной камере высоковакуумного агрегата, систем для чистки поверхностей изделий и систем для нанесения покрытий, горизонтальная установка камеры  затруднила бы техническое обслуживание источников плазмы.

Существуют и определенные неудобства в установке и смене обрабатываемых изделий при горизонтальном расположении оснастки. Выше приведенные соображения и обусловили выбор вертикального положения вакуумной камеры.

Для обеспечения необходимых условий проведения процесса чистки поверхности и нанесения покрытий выбираем цилиндрическую форму вакуумной камеры. Высота камеры h=0,75м, диаметр – R=1м.

Наиболее приемлемый материал для камеры - сталь Х18Н10Т. Сталь легированная, обезгаживается при температуре Т=400^оС, на протяжении времени t=15ч. Данный материал обладает малым газовыделением и высокой прочностью.

Для смотровых окон будем применять кварцевые стекла. Данный материал, кроме прозрачности, обладает многими положительными свойствами: практически газонепроницаем, температура размягчения 1500^°С, хороший изолятор. Удельное газовыделение стекла: q=3.614×10^-3×мПа/с.