Конструювання технологічного відсіку іонно-плазмовоїустановки для массового нанесення покриття, страница 2

Резина благодаря своей эластичности, прочности и газонепроницаемости получила весьма широкое применение в вакуумной технике. Однако пребывание резины в течение достаточно длительного времени в сжатом состоянии приводит к возникновению так называемой остаточной деформации, которая тем больше, чем выше температура, при которой находилась  резина. Поэтому рабочая температура резины не должна превышать  90-125 oС. В вакуумной технике резина применяется в виде прокладок во фланцевых соединениях и вакуумных вентилях, а также в виде толстостенных резиновых  шлангов.

В виде прокладок во фланцевых соединениях в данной вакуумной системе используется резина марки ИРП-1368.

1.2  Проектирование и конструирование оснастки

1.3  Конструирование механизма вращения оснастки

1.4  Обеспечение различных типов движения оснастки

Катушки, обеспечивают остановку…

Подача питания на катушки производится с помощью контактного трущегося коллекторного токосъемника. В конструкцию токосъемника входит коллектор с токоподводами, оканчивающимися штепсельными колодками. Коллекторный токосъемник состоит из пластины, в которой набрано 4 изолированных друг от друга контактных токосъемных колец. Через вращающийся стакан к кольцам подведены и припаяны провода. К нижней крышке вакуумной камеры жестко прикреплен корпус коллектора, к которому прикреплен диск со смонтированными в нем колодками со щетками. Латунные щетки с серебряными контактами поджимаются к токосъемным кольцам, обеспечивая тем самым контакт между неподвижной и подвижными частями центрифуги. Поджатие щеток к контактным токосъемным кольцам обеспечивается с помощью вмонтированных в колодки пружин. Качество контакта достигается заданным контактным давлением и минимальным переходным сопротивлением.

2. Описание технологического процесса

После химической очистки обрабатываемых изделий их устанавливают в держатели. Держатель представляет собой прижим, крючек или другое приспособление, с помощью которого деталь устанавливается на оснастке. При проведении установки следует соблюдать меры предосторожности, чтобы не допустить повторного загрязнения лопаток.

Далее детали, установленные в держатели транспортируются в помещение, в котором находится вакуумная технологическая установка. Там оснастка с деталями помещается на установочные места на нижнем фланце камеры. Для этого держатели устанавливаются на звездочки, которые являются элементом внутрикамерной оснастки, а также установочным местом для держателей. После установки держатели крепятся к звездочке болтами. После того, как оснастка установлена и закреплена, включается подъемный механизм, прижимающий фланец камеры к цилиндрической обечайке.

Затем включается форвакуумный насос и производится откачка до давления запуска диффузионного насоса. После этого включается высоковакуумный насос и производится откачка камеры до предельного давления. Время откачки составляет 40 мин. Время загрузки составляет 5 мин. Время выгрузки, после обработки составляет 5мин.

Процесс обработки изделий в рабочей камере состоит из нескольких операций, производящихся последовательно. Первый этап обработки – это чистка поверхности с помощью УАС. Включается механизм вращения оснастки, и производят запуск УАС. По окончанию чистки УАС отключают и останавливают вращение оснастки.

На втором этапе обработки производится нанесение покрытия с помощью планарных МРС. Открывается клапан системы подачи рабочею газа и производится напуск реагентного газа в камеру, после того включаются МРС и механизм вращения оснастки.

После завершения процесса нанесения покрытия МРС отключают и перекрывают подачу реагентного газа, останавливают механизм вращения оснастки.

После этого камера разгерметизируется, подъёмный механизм включается в режим опускания, нижний фланец камеры опускается и производится разгрузка камеры (изделия извлекают из держателей и складывают в ящики).


ВЫВОДЫ


ПЕРЕЧЕНЬ ССЫЛОК

1. Данилин Б.С., «Вакуум», М., Знание, 1960 г., 38 с.

2. Андрейчук О.Б., Мнацаканян Б.А., «Вакуумные установки», учебное пособие, М., МАИ, 1989 г., 66 с.

3. Фролов Е.С., «Вакуумная техника», справочник, М., «Машиностроение», 1985 г., 360 с.

4. Уорклинг Р.К., Гутри А., «Вакуумное оборудование и вакуумная техника», М., издательство иностранной литературы, 1951 г., 278 с.