или для одномерного случая
σ0Dd2θ/dx2= v(θ) (9.13)
При очень низкой степени покрытия скорость испарения можно считать линейной функцией, так что имеем
−[v'(0)/ σ0 D]θ=0 (9.14)
где
v'(0)=dv(0)/dθ│ θ→0
Решение этого уравнения имеет вид
θ=θ0exp(−x/δ) (9.15)
где δ — диффузионная длина, равная
δ=[σ0D/v'(0)]1/2 (9.16)
Эту величину можно также представить в виде
δ=(Dτ)1/2 (9.17)
где τ= σ0 / v'(0)—время десорбции.
Значение D было измерено в работе Ленгмюра и Тейлора [178] в температурном диапазоне 650—812 К, и установлено, что коэффициент диффузии можно представить в виде
logD=−0,7−3060/T (9.18)
Однако в работе Форрестера [91] показано, что уравнение (9.18) не может быть использовано для экстраполяции в область температур работы сильноточных ионных источников, т. е. 1300—1500 К. Некорректность такой процедуры заключается не только в том, что экстраполяция осуществляется в область температур, отстоящую от экспериментальной на 600 К, но связана с тем, что в температурном диапазоне 1300—1500 К коэффициент диффузии определяется процессами, полностью отличными от процессов при температуре ниже 899 К (см. работу [287]).
В области низких температур величина коэффициента диффузии D определяется средним временем, которое адатом проводит в месте захвата. Запись уравнения (9.18) корректна для процессов такого типа, в которых определяющим элементом является значение энергии активации. В области температур <812 К время, затрачиваемое адатомом при движении от одного места захвата к другому, по-видимому, пренебрежимо мало по сравнению с временем, проводимым адатомом в месте захвата.
Если скорость диффузии определяется временем между соударениями адатомов цезия с атомами вольфрама, то выражение для коэффициента поверхностной диффузии будет иметь вид
D=λ/4 (9.19)
где — средняя скорость, а λ — средняя длина свободного пробега. Если в качестве λ взять среднее расстояние между атомами по одной из граней кристаллической решетки, например по грани (110), то λ = 2,6·10-8 см, и при средней скорости молекул двумерного газа, определяемой выражением (kT/2m)1/2, имеем значение коэффициента поверхностной диффузии, ограниченного временем миграции (рис. 9.7). При учете этих двух коэффициентов результирующее значение Dполучается как их комбинация D1D2/( D1+D2), и в температурном диапазоне 1300—1500 К, т. е. диапазоне работы сильноточных ионных источников, эта величина близка к миграционному коэффициенту диффузии.
Мы определили Dкак функцию температуры. Значение плотности поверхностного покрытия σ0, необходимое для нахождения диффузионной длины δ из уравнения (9.16), было получено в работе Тейлора и Ленгмюра [266]. Для микроскопическигладких поверхностей вольфрама эта величина равна 3,6·1014 см-2. В случае использования вольфрамовых поверхностей с нормальной гладкостью σ0 =4,8·1014 см-2. Сознавая достаточную неопределенность наших представлений о величине D, вопрос о выборе какого-либо из этих двух значений σ0 может быть легко решен путем использования в расчетах промежуточного значения, например σ0 = 4·1014 см-2.
Помимо этого для определения диффузионной длины δ требуется значение v'(0) При низкой степени покрытия v практически равно v р, поэтому из уравнения (9.12) получим
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.