Тонкопленочные устройства представляют собой анизотропные слоистые системы. Характерной особенностью их является наличие обязательных слоев – пленка, подложка, базовая плата или изолирующий слой (рис.6). Если устройство состоит из нескольких микросхем, то обязательные слои могут повторяться многократно, образуя этажерочную конструкцию (рис.7).
Рис.6
Многосоставное слоистое тело может быть преобразовано к однородному анизотропному телу с эффективными значениями коэффициентов теплопроводности , , во взаимно ортогональных направлениях , , .
Рис.7
Эффективные значения коэффициентов теплопроводности , , могут быть рассчитаны по методике, изложенной в разделе VII, т.е. на основе расчета тепловых сопротивлений системы в направлениях , , .
Стационарное температурное поле такой системы будет описываться дифференциальным уравнением теплопроводности
. (1)
Если температура поверхности устройства известна, то граничные условия будут первого рода
Если температура поверхности не известна, то задаются граничные условия третьего рода – условия теплообмена по закону Ньютона:
. (2)
Здесь приняты следующие обозначения:
– перегрев относительно средней температуры воздуха внутри блока;
, , – эквивалентные коэффициенты теплопроводности модуля в направлениях , , ;
– удельная мощность источников тепла в точках , , ;
– коэффициент теплообмена с –й поверхности модуля, включающий и конвекцию излучения;
– внешняя нормаль к –й поверхности модуля;
– поверхность модуля;
, , – текущие координаты.
Температура в произвольной точке рассматриваемого модуля при равномерном распределении источников тепла может быть вычислена из следующего выражения, полученного решением краевой задачи (1) и (2) методом Фурье:
, где
;
;
;
;
; ; ;
, , – определяются из графиков (рис.8).
Рис.8
Вычисление температурного поля микросхем следует начинать с определения эквивалентных коэффициентов теплопроводности , , с учетом заданной конструкции модуля. Общая методика определения , , дана в разделе VII. Алгоритм дальнейшего вычисления температуры представлен ниже.
Ввод исходных данных:
, , , , , , , , , , массивы , , , , , = 1,2 |
Вычисление , , , , , , |
Для ; ; вычисление , , , |
Для ; ; вычисление |
Ввод , , |
Для ; ; вычисление члена ряда |
Печать |
ПРИЛОЖЕНИЯ
Приложение 1
Условные обозначения
– температура –й поверхности, °С;
– температура внешней среды, °С;
, – температура корпуса и нагретой зоны соответственно, °С;
– температура среда внутри аппарата, °С;
, – температура воздуха на входе и выходе из аппарата соответственно, °С;
– перегрев –й поверхности, °С;
– суммарная мощность источников тепла, Вт;
– мощность –й детали, Вт;
– суммарная мощность стоков тепла, Вт;
– удельная мощность источников, Вт/м3;
– размеры кожуха (), м;
– размеры нагретой зоны (), м;
– размеры –й детали (), м;
– расстояние между нагретой зоной и кожухом (верх), Б бок; Н (низ),м;
– толщина кожуха, м;
– площадь –й поверхности, м2;
, – сечение входных и выходных отверстий в кожухе, м;
– объем аппарата, м3;
, – массовый и объемный расход воздуха, кг/с, м3/с;
– плотность, кг/м3;
– тепловой коэффициент между –й и –й поверхностями, Вт/°С;
– тепловое сопротивление между –й и –й поверхностями, Вт/°С;
– тепловая проводимость между –й и –й поверхностями, Вт/°С;
– коэффициент теплообмена, Вт/м2˚С;
– конвективная составляющая коэффициента теплообмена, Вт/м2˚С;
– лучистая составляющая коэффициента теплообмена, Вт/м2˚С;
– степень черноты и –й поверхности;
– приведенная степень черноты –й и –й поверхностей;
– коэффициент теплопроводности –го материала, Вт/м°С;
, , – эффективные коэффициенты теплопроводности в направлениях , , , Вт/м°С.
Приложение 2
ЗАДАНИЕ
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.