Тонкопленочные устройства представляют собой анизотропные слоистые системы. Характерной особенностью их является наличие обязательных слоев – пленка, подложка, базовая плата или изолирующий слой (рис.6). Если устройство состоит из нескольких микросхем, то обязательные слои могут повторяться многократно, образуя этажерочную конструкцию (рис.7).
Рис.6
Многосоставное
слоистое тело может быть преобразовано к однородному анизотропному телу с
эффективными значениями коэффициентов теплопроводности ,
,
во
взаимно ортогональных направлениях
,
,
.
Рис.7
Эффективные
значения коэффициентов теплопроводности ,
,
могут
быть рассчитаны по методике, изложенной в разделе VII, т.е. на
основе расчета тепловых сопротивлений системы в направлениях
,
,
.
Стационарное температурное поле такой системы будет описываться дифференциальным уравнением теплопроводности
. (1)
Если температура поверхности устройства известна, то граничные условия будут первого рода
Если температура поверхности не известна, то задаются граничные условия третьего рода – условия теплообмена по закону Ньютона:
. (2)
Здесь приняты следующие обозначения:
– перегрев относительно средней
температуры воздуха внутри блока;
,
,
– эквивалентные коэффициенты
теплопроводности модуля в направлениях
,
,
;
– удельная мощность источников тепла в
точках
,
,
;
– коэффициент теплообмена с
–й поверхности модуля, включающий и конвекцию излучения;
– внешняя нормаль к
–й поверхности модуля;
– поверхность модуля;
,
,
– текущие координаты.
Температура в произвольной точке рассматриваемого модуля при равномерном распределении источников тепла может быть вычислена из следующего выражения, полученного решением краевой задачи (1) и (2) методом Фурье:
, где
;
;
;
;
;
;
;
,
,
– определяются из графиков (рис.8).
Рис.8
Вычисление температурного поля микросхем следует начинать
с определения эквивалентных коэффициентов теплопроводности ,
,
с учетом заданной конструкции модуля. Общая
методика определения
,
,
дана в разделе VII. Алгоритм
дальнейшего вычисления температуры представлен ниже.
Ввод исходных данных:
|
|
Для
|
Для
|
Ввод
|
Для
|
|
Печать
|
ПРИЛОЖЕНИЯ
Приложение 1
Условные обозначения
– температура
–й
поверхности, °С;
– температура внешней среды, °С;
,
– температура
корпуса и нагретой зоны соответственно, °С;
– температура среда внутри аппарата, °С;
,
– температура
воздуха на входе и выходе из аппарата соответственно, °С;
– перегрев
–й
поверхности, °С;
– суммарная мощность источников тепла, Вт;
– мощность
–й
детали, Вт;
– суммарная мощность стоков тепла, Вт;
– удельная мощность источников, Вт/м3;
– размеры кожуха (
),
м;
– размеры нагретой зоны (
), м;
– размеры
–й детали
(
), м;
– расстояние между нагретой зоной и
кожухом
(верх), Б бок; Н (низ),м;
– толщина кожуха, м;
– площадь
–й
поверхности, м2;
,
–
сечение входных и выходных отверстий в кожухе, м;
– объем аппарата, м3;
,
– массовый
и объемный расход воздуха, кг/с, м3/с;
– плотность, кг/м3;
– тепловой коэффициент между
–й и
–й поверхностями,
Вт/°С;
– тепловое сопротивление между
–й и
–й
поверхностями, Вт/°С;
– тепловая проводимость между
–й и
–й поверхностями,
Вт/°С;
– коэффициент теплообмена, Вт/м2˚С;
– конвективная составляющая коэффициента
теплообмена, Вт/м2˚С;
– лучистая составляющая коэффициента
теплообмена, Вт/м2˚С;
– степень черноты и
–й поверхности;
– приведенная степень черноты
–й и
–й
поверхностей;
– коэффициент теплопроводности
–го материала, Вт/м°С;
,
,
– эффективные коэффициенты
теплопроводности в направлениях
,
,
,
Вт/м°С.
Приложение 2
ЗАДАНИЕ
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.