Если в качестве эталона используют соответствующий чистый элемент, то концентрация его в N-компонентной системе определяется формулой Сi = = Ii/I/fi(С1С2 ... СN), где Ii, I — интенсивности характеристического излучения соответственно в образце и эталоне; C1, C2, ... CN — концентрации содержащихся в образце элементов; fi (С1, С2, ... CN) — поправочная функция.
Поправочная функция fi состоит из трех последовательно вводимых поправок на атомный номер fi(Z), на поглощение электронов fi (τ) и на дополнительное флуоресцентное возбуждение fi (Ф): fi = fi (Z) fi (τ) fi (О).
Разработаны и применяются на практике много методов расчета поправок для перевода относительной интенсивности в концентрацию по массе анализируемого элемента Ci. Методы отличаются степенью точности, границами применимости для разных приборов, продолжительностью операций введения поправок.
Применение ЭВМ существенно ускоряет анализ. Для приборов, снабженных ЭВМ, обычно прилагают несколько вариантов программ внесения поправок.
Существуют также способы ускоренного расчета поправок с помощью предварительно просчитанных вспомогательных таблиц.
ТАБЛИЦА - ОТНОСИТЕЛЬНАЯ ИНТЕНСИВНОСТЬ ЭЛЕМЕНТОВ ДЛЯ ХИМИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ
Химическое соединение |
Элемент |
Концентрация (маc. доли) |
Кх с при Е0, кВ |
|
10 |
20 |
|||
МgO |
Mg |
0,600 |
0,476 |
0,337 |
А12O3 |
А1 |
0,529 |
0,448 |
0,342 |
SiO. |
Si |
0,467 |
0,423 |
0,347 |
СаО |
Са |
0,714 |
0,714 |
0,710 |
СаСО3 |
Са |
0,400 |
— |
0,400 |
Fe2O3 |
Fе |
0,700 |
0,662 |
0,676 |
Fе304 |
Fе |
0,724 |
0,690 |
0,702 |
FеО |
Fе |
0,778 |
0,747 |
0,755 |
TiO2 |
Тi |
0,750 |
— |
0,575 |
Тi2O3 |
Тi |
0,667 |
— |
0,644 |
ТiС |
Тi |
0,800 |
0,788 |
0,793 |
Cr3C2 |
Сr |
0,867 |
0,855 |
0,863 |
Сr7C9, Cr28C6 |
Сг Сг |
0,910 0,943 |
0,902 0,936 |
0,904 0,937 |
Fе3С |
Fе |
0,933 |
0,926 |
0,926 |
FеS2 |
Fе |
0,465 |
— |
0,414 |
FеS2 |
S |
0,535 |
__ |
0,406 |
РbS |
Рb |
0,866 |
_ |
0,0766 |
РbS |
S |
0,134 |
__ |
0,138 |
МnS |
Мn |
0,631 |
_ |
0,575 |
МnS |
5 |
0,369 |
— |
0,279 |
GаР |
Gа |
0,692 |
__ |
0,648 |
GаР |
Р |
0,308 |
— |
0,124 |
Рис. Микрорентгеноспектральный анализ сплава системы Fе—Сu—Мn: а — изображение во вторичных электронах; б — тот же участок в поглощенных электронах; в — то же в упругорассеянных электронах (с контрастом от атомных номеров); г — то же в упругорассеянных электронах (с контрастом по топографии); д — то же в характеристическом излучении СuКа', е — то же в FеКа
При полуколичественном анализе используют калибровочные кривые. Точность количественно РСМА зависит от точности расчета поправок, инструментальной ошибки, определяемой стабильностью работы установки, квалификации оператора и тщательности постановки задачи исследования.
На рис. 7.2 приведен пример микрорентгеноспектрального исследования сплава системы Fе—Сu—Мn. Один и тот же участок шлифа изучен в различных сигналах. Использование различных форм сигналов и их обработка дают возможность исследования распределения элементов в изучаемых фазах.
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.