Исследование влияния режимов получения поликристаллических пластин германия методом горизонтальной направленной кристаллизации и их свойства, страница 6

Спецификация к рисунку 2

Поз.

Наименование

1

2

1

Рабочая камера

2

Крышка камеры

3

Петля

4

Карабин

5

Страховочный трос

6

Устройство контроля температуры УКТ – 38

7

Пульт управления

8

Электрошкаф

9

Нагреватель

10

Крышка формы

11

Форма

12

Платформа

13

Зона охлаждения

14

Зона нагрева

15

Автоматический выключатель

16

Вакуумметр ВИТ – 2П

17

Индикатор включения нагревателя

18

Индикатор включения установки

19

Индикатор падения давления охлаждающей воды

20

Записывающий прибор КСП

21

Программик температуры

22

Регулятор температуры

23

Программик скорости вытягивания

24

Блокировка звукового сигнала падения давления охлаждающей воды

25

Автоматический выключатель установки

26

Индикатор включения форвакуумного насоса

27

Включатель форвакуумного насоса

28

Тумблер включения местного освещения

29

Регулятор скорости вытягивания

30

Тумблер включения местного освещения

31

Регулятор скорости вытягивания

32

Тумблер включения привода вытягивания

33

Кнопка включения привода ускоренного перемещения в камеры

34

Тумблер включения привода ускоренного перемещения из камеры

35

Тумблер переключения режима работы привода вытягивания «Ручной – Автомат»

36

Тумблер переключения диапазона скорости вытягивания

37

Указатель скорости вытягивания

38

Местная кнопка, дублирующая кнопку поз.33

39

Манометр (указатель давления газа в камере)

40

Вентиль «Вакуум»

41

Вентиль «Воздух»

42

Вентиль «Аргон»

43

Вентиль охлаждающей воды на тиристоры

Подготовка установки

- открыть крышку 2 рабочей камеры 1. Зацепить страховочный трос 5 за крышку камеры 2 путем защелкивания карабина 4 за петлю 3.

- произвести зачистку внутренней поверхности камеры с применением пылесоса и марли смоченной спиртом.

- проверить работоспособность механической и злектрической частей установки на холостом ходу.

- проверить работу вакуумной системы – максимальный вакуум и натекание.

- все работы, выполняемые при открытой крышке камеры, производить при зацепленном страховочном тросе 5.

Загрузка

- установить форму 11 на рабочую платформу.

- уложить металл в форму 11 равномерным слоем. Положить лигатуру, если она предусмотрена компановкой, установить крышку формы 10 на металл и вставить термопары в гнезда, для них предусмотренные.

-количество загружаемого металла должно соответствовать технологической карте для данного процесса.

- механизмом перемещения на режиме ускоренного движения переместить платформу в зону нагрева.

Проведение процесса

- Основные операции процесса изготовления изделий на установки горизонтальной направленной кристаллизации аналогичны операциям на печах выращивания и состоят из вакуумирования, заполнение рабочей камеры аргоном, нагрева, плавление металла, кристаллизации и отжига изделия.

- Режимы и параметры процесса на период отработки технологии определяются указаниями мастера – технолога и указываются в технологической карте процесса.

Обязательные операции перед загрузкой печи: