Полупроводниковые фотоприемники. Физические основы работы фотоприемников с одним р-п переходом, страница 5

11

Рис. 4   Энергетическая диаграмма зонной структуры ФП с р-п переходом.

а — для  р-п  структуры  с равномерным

распределением    примеси    в    р-   и   п-

областях;     б — для     дрейфового    ФП;

в — для  ФП  с  p-i-n  структурой

на порядок меньше времени пролета. Таким образом, предельная частота таких ФП определяется временем пролета носителей и не превышает в лучшем случае десятков мегагерц.

Механизм переноса путем диффузии при наличии электрического поля имеет место в дрейфовых ФП с градиентом примеси в одной или двух областях р-п перехода (рис. 4,6). Градиент концентрации примесей создает внутреннее электрическое поле, ускоряющее движение носителей к р-п переходу Это уменьшает время пролета, а следовательно, и инерционность ФП Для идеализированного дрейфового ФП с р-п структурой с постоянным внутренним электрическим полем и экспоненциальным профилем распределения примеси времена пролета при достаточно высоких полях, можно уменьшить на порядок по сравнению с ФП, обладающим однородным распределением примеси в базе Градиент концентрации примесей в базе снижает не только время пролета носителей, но и постоянную времени 7?С-цепочкп ФП. Таким образом, дрейфовый ФП, обладая высоким коэффициентом собирания, близким к предельно возможной величине в коротковолновой области спектра, может быть малоинерционен для излучения, поглощаемого в базе Для этой области спектра подобная структура прибора является оптимальной как по эффективности, так и с точки зрения инерционности

Механизм переноса путем дрейфа в электрическом поле наблюдается в p-i-n структуре, смещенной в обратном направлении (рис. 4,в). Толщина «-области, йа которую падает излучение, предполагается достаточно малой, так что большая часть излучения поглощается в /-области. Если в i-слое, где поле Е постоянно, пре-

12

\

ОМ

w о

7-----

^fe,

^^-

^-^

1=10*

fAW^V

^:

■J^

60^

200''

««^ """* -

----

- йЧОмкм

с(=Р.Омкм

f

небречь рекомбинацией носителей, критическая частота ФП с р i-n структурой (частота, при которой амплитуда сигнала уменьшается на 30%) для однородной генерации1 носителей в /-слое определяется следующим образом:

1,7-2^ ' КРИТ =     d*-2n     '                                   (7)

где ji — подвижность носителей; U — приложенное к p-i-n структуре обратное смещение. Если подвижности электронов и дырок не равны, то частотная чувствительность определяется скоростью более медленно двигающихся носителей.

В реальных ФП, где коэффициент поглощения отличен от нуля или бесконечности, <в движении через /-слой принимают участие как дырки, так и электроны, и, следовательно, время пролета определяется медленно двигающимися носителями— дырками Так как коэф. фициент поглощения имеет конечную величину, изменяющуюся в некотором интервале значений, генерация носителей происходит во всех частях /-слоя, т. е. ее можно считать однородной, а среднее время пролета носителей t = d/2v, где v — скорость дрейфа

В случае широкой /-области (d=0,2 мм) с удельным сопротивлением в несколько десятков ки-лоом при небольших обратных напряжениях (не более 50 В) область объемного заряда расширяется на весь |/-слой, а критическая частота ФП ограничивается 30 МГц

В случае узкой /-области (с? = 0,05 мм) с удельным сопротивлением порядка 1000 Ом • см при обратном смещении 50 В значения /крит доходят до 400 МГц.

Таким образом, уменьшая область объемного заряда и увеличивая электрические поля, можно значительно повысить критическую частоту p-i-n структуры.

В реальных ФП, изготовленных из высокоомного кремния, для достаточно длинноволнового излучения, которое проникает как в область объемного заряда, так и в область за р-п переходом, при небольших величинах обратного смещения имеют место два механизма переноса носителей: диффузия и дрейф носителей. Расчет частотной характеристики в случае синусоидально модулированного потока, проведенный для модели ФП с тонкой базой при облучении его длинноволновым излучением (Х=0,91 мкм), показал, что критические частоты увеличиваются с ростом толщины обедненного слоя. На рис. 5 y представляет отношение фототока для синусоидально модулированного потока с частотой f к величине фототока при постоянной    засветке.    Увеличение    диффузионной    длины    приводит

0J

1

10 МГц 50

Рис. 5. Расчетные частотные характеристики ФП с тонкой базой для различных толщин области объемного заряда и диффузионных   длин.

1  Под однородной генерацией понимают образование электронно-дырочных шар равномерно по всему /-слою.

13

т

к ухудшению характеристик, причем для малых толщин это влияние оказывается особенно   существенным    Это    объясняется

1.     тем,  что эффективная  область,  из которой JL. происходит  диффузионное собирание  носи-' телей, зависит от частоты  (при ее увеличении толщина  области  уменьшается),  в   то время как обедненная область характеризуется полным собиранием носителей незави. Рис.   б.    Простейшая      симо от частоты в соответствии с предполо-эквивалентная    схема      жением   о   безынерционном   механизме по-ФП.                     следнего.

Постоянная времени, определяемая RC-параметрами. Вторым фактором, оказывающим влияние на инерционность ФП, является постоянная времени, определяемая /?С-цепочкой ФП, где R и С — параметры эквивалентной схемы ФП (рис. 6), причем С—емкость р-п перехода ФП, a R— последовательное сопротивление прибора Очевидно, что уменьшения инерционности ФП можно достигнуть уменьшением величин R и С. Рассмотрим каждый из этих параметров в отдельности Прибор с р-п переходом подобен конденсатору, для которого р- и «-области 'представляют собой разноименно заряженные пластины, а область объемного заряда — разделяющий их диэлектрик Ширина области объемного заряда меняется в зависимости от величины приложенного напряжения С ростом величины обратного смещения ширина области объемного заряда увеличивается и емкость С уменьшается Емкость ФП можно определить  по  формуле для  плоского конденсатора