Физико-химические основы технологии электронных средств

Задания на лабораторные работы

• Определение физико-химических параметров полупроводников

Методические указания и пособия

• Инструкция для пользователя программой моделирования технологических процессов PAKET-2
• Исследование технологического процесса эпитаксиального выращивания кремниевых пленок. Технологические расчёты для процесса эпитаксии
• Определение выхода кремния в реакции осаждения эпитаксиальной плёнки
• Определение параметров лимитирующих стадий химической реакции осаждения эпитаксиальных плёнок кремния
• Отработка режима термического окисления кремния

Программы для учёбы

• Рабочая программа учебной дисциплины "Физико-химические основы технологии электронных средств" (Внешние требования. Цели, содержание и структура учебной дисциплины)

Экзаменационные вопросы и билеты

• Вопросы № 1-31 к экзамену по дисциплине «Физико-химические основы технологии электронных средств» (Основные группы технологических процессов при производстве ЭС. Выращивание монокристаллического кремния)