Получение навыков количественных оценок эффектов и явлений в структуре полупроводников и интегральных микросхем, страница 20

Воздействие квантовых излучений можно упрощенно трактовать следующим образом: если энергия кванта больше ширины запрещенной зоны, то рассеяние кванта на электроне не превращает электрон в свободный.

Для создания первой пары носителей энергия кванта должна быть больше ширины запрещенной зоны и равной энергии ионизации.

Eи = 3DW

Если отвлечься от одноатомного представления, то процессы в зонной структуре полупроводника носят сложный характер. В трехмерном представлении нижняя граница запрещенной зоны представляет собой сложную поверхность. В этом случае расстояние от поверхности, отождествляемой с валентной зоной, до поверхности зоны проводимости зависит от волнового вектора.

Чаще всего переходы происходят с изменением волнового вектора. Это означает, что при существовании кратчайшего пути переход осуществляется с большими затратами – непрямой переход.

Характеристики излучений

Излучения подразделяются на две группы: корпускулярные и кватновые.

Корпускулярные излучения существуют в виде потоков частиц – электронов, протонов, нейтронов и так далее.

Квантовые излучения – это волновые процессы. Для мягкого рентгеновского излучения в качестве характеристики используют энергию квантоизлучения. Далее идет нормальное рентгеновское излучение, затем жесткое и сверхжесткое рентгеновские излучения. После этого следует мягкое   g-излучение и жесткое g-излучение.

Мягкий рентген полностью поглощается тканями организма. По мере увеличения энергии толщина слоя полного поглощения растет, следовательно, квантовое излучение простреливает образец насквозь, часть энергии остается в теле, часть уходит.

Если плотность твердого тела растет, то длина свободного пробега кватна излучения уменьшается пропорционально изменению объемной плотности.

Полупроводниковые приборы подвергаются воздействию излучения в широком диапазоне энергий излучения. Каждый квант рентгеновского излучения поглощается активными слоями микросхемы, и она выходит из строя.

Для различных полупроводниковых материалов известны скорости генерации носителей в зависимости от интенсивности поглощения энергии. Различают экспозиционную и поглощенную дозы излучения. При поглощении дозы в каждом полупроводниковом материале генерируется определенное число пар носителе.

где  - доза излучения;

 - время облучения;

 - мощность поглощенной дозы.

Эффект импульсного облучения полупроводника на физическом уровне проявляется в виде кратковременных импульсов ионизационного тока через полупроводниковый прибор, что приводит к отказам микросхем.

Любой p-n переход при воздействии квантовых излучений превращается в генератор ионизационных токов с плотностью:

где g – коэффициент, характеризующий скорость генератора;

S – площадь перехода;

L – толщина слоя собирания носителей заряда.

Таким образом целесообразно использовать малоразмерные высоколегированные структуры. Также применяют радиационно-технологическую обработку элементов.

Контактные явления в полупроводниках

При образовании контакта полупроводниками различных типов, между полупроводником и металлом, между полупроводником и диэлектриком на границах разделов сред имеют место явления и эффекты, обозначаемые как "контактные явления".

При контакте полупроводников p  и  n типов возникает потенциальный барьер, а свойства контакта используются для построения биполярного транзистора и других полупроводниковых приборов. Свойства контакта металл – полупроводник используются для построения диодов и транзисторов Шоттки. В трехслойной структуре металл – диэлектрик – полупроводник на границах и в прилегающих областях формируются электрическое поле, потенциальный барьер, и в конечном итоге происходит инверсия типа проводимости  - используется для создания полевых транзисторов. Явления, происходящие при контакте любых сред с полупроводником используются для создания структур функциональных преобразователей, эти же явления могут быть причиной ухудшения электрических параметров полупроводниковых структур.