Контроль и исследование точности электрических параметров толстопленочных элементов в процессе конструкторско-технологической отработки микросборок

Страницы работы

9 страниц (Word-файл)

Содержание работы

Лабораторная работа №6

Тестовый контроль параметров элементов толстопленочных микросборок.

Принял:                                                                                                           Выполнил:

Жаркой М.Ф.                                                                                                 Студент группы н261

Медведев В.А.


Цель работы – проконтролировать и исследовать точность электрических параметров толстопленочных элементов в процессе конструкторско-технологической отработки микросборок.

Объекты контроля:

Набор тестовых схем, представляющих собой обобщенные аналоги МСБ и содержащие специальные структуры, предназначенные для получения параметров качества ТП и МСБ.  Такие схемы содержат все конструктивные элементы реальной МСБ и изготовляются по тому же технологическому маршруту.

Экспериментальные данные:

1. Исследование зависимости сопротивления ТЛР квадратной формы (сопротивление квадрата пленки) от размеров резистора, типа и RОн

Паста

Номер тест-платы

RОн,

Ом/

Раз-ность

Сопротивление резистора квадратной формы с l=b, мм

5.5

4

3.5

3

2

1.25

0.75

R1

R2

R3

R4

R5

R6

R7

ПТР-50

1

50

Ом

43.4

41.9

41.9

41.4

38.4

25.5

57

ПТР-1к

2

1000

Ом

766.6

901.9

802.2

824.6

836.6

449.7

267.8

ПТР-10к

3

10000

кОм

6.48

5.66

5.39

5.38

4.75

3.34

1.63

ПТР-30к

4

30000

кОм

60.8

58.4

57.6

49.5

56.03

28.85

14.09

ПТР-100к

5

100000

кОм

156.8

144.6

160.1

137.8

225.9

110

78.3

ПТР-20к

6

20000

кОм

32.05

27.46

26.2

26.67

24.96

22.23

9.15

Боридная

7

10000

кОм

20.71

19.34

17.26

19.4

16.32

25.32

19.1

Полимерная

8

100

Ом

291.4

245.6

256.3

248.8

255

227.7

118.2

2. Исследование зависимости сопротивления ТЛР в зависимости от коэффициента формы Кф, номинального сопротивления RОн паст.

Паста

Номер тест-платы

RОн,

Ом/

Размерность

R1

R2

R3

R4

R5

R6

R7

R8

l, мм

0.3

0.5

1

3

5

8

9.5

12

b, мм

10

7

4

3

2.5

1.7

1

0.4

Кф

0,03

0,07

0,25

1

2

4,5

9,5

30

ПТР-50

9

50

Ом

2,2

5,73

13,83

61,32

112

214,9

578

1650

ПТР-10к 10

10

10000

кОм

0,6503

1,84

4,11

11,18

23,62

49,2

103,4

319,2

ПТР-30к 11

11

30000

кОм

1,34

3,87

8,26

41,78

92,39

189,1

361,4

1590

ПТР-100к

12

100000

кОм

25,34

57,08

121,3

317,2

621,1

1289

2340

5960

ПР-20к

13

20000

кОм

1,15

3,18

8,09

25,93

59,5

140,3

269,7

792,9

Боридная

14

10000

Ом

61,1

145

325,4

1144

2490

5750

11510

29390

Полимерная

15

100

Ом

9,4

24,3

61,3

213,9

452

990

1960

7409

Похожие материалы

Информация о работе