Конструирование тонкопленочной микросборки

Страницы работы

Содержание работы

Оглавление

Задание 3

Составление коммутационной схемы 4

Расчет тонкопленочных резисторов 5

1.  Расчет резисторов прямоугольной формы 6

2.  Расчет низкоомного резистора специальной формы 7

Расчет тонкопленочных конденсаторов 8

Расчет тонкопленочных проводников 10

Расчет навесных компонентов 10

Определение площади платы и выбор размера 10

Приложение:

Чертеж микросборки БГТУ.Н2.И481.011


Задание

По принципиальной электрической схеме и ряду технических требований сконструировать тонкопленочную микросборку.

Принципиальная электрическая схема приведена на рис. 1

pic1.JPG

Рисунок 1

Параметры:

R1=R2=0,2 кОм

R3*=2,3 кОм

R4=7 кОм

R5=R6=15 кОм

Р=3 мВт

С123=1000 пФ

С4=60000 пФ

Up=10B

F=100 MГц

Imax=10mA

Активные компоненты с гибкими выводами. Метод формирования – комбинированный.


Составление коммутационной схемы

Упрощаем принципиальную схему для уменьшения числа пересечений и улучшения субъективного восприятия. Получили схему на рис.2.

pic2.JPG

Рисунок 2

Преобразовав принципиальную схему, составим коммутационную схему, заменяя навесные компоненты соответствующими пронумерованными контактными площадками(рис.3).

pic3.JPG

Рисунок 3


Расчет тонкопленочных резисторов

Выберем резистивный материал. Для этого рассчитаем оптимальное сопротивление:

 Ом.

По рассчитанному оптимальному сопротивлению выберем материал РС 4206 со следующими параметрами:

 - относительная погрешность удельного поверхностного сопротивления;

 мм - абсолютная погрешность длины резистора;

 мм - абсолютная погрешность ширины резистора;

 Ом  - удельное сопротивление;

 -  коэффициент нагрузки тонкопленочного резистора по мощности;

  - удельная мощность рассеивания резистивного материала;

  - температурный коэффициент сопротивления;

  - коэффициент старения.

Определим коэффициенты формы для заданных резисторов.

Общая формула для определения коэффициента формы: .

Для  и :  - низкоомные специальной формы;

для :  - прямоугольная форма;

для :  - прямоугольная форма;

для  и :  - прямоугольная форма;

1. Расчет резисторов прямоугольной формы

Для всех резисторов выбран фотолитографический способ формирования.

1. Определим относительную температурную погрешность:

2. Определим относительную погрешность старения:

3. Относительная контактная погрешность , т.к. выбран фотолитографический метод формирования резисторов.

4. Определим допустимую относительную погрешность сопротивления резисторов . Т.к. , то зададим новый допуск на сопротивление пленочного резистора

5. Определим допустимую относительную погрешность коэффициента формы:

.

6. Определим ширину ТР по точностному критерию:

для :  мм;

для :  мм;

для  и :  мм.

7. Определим ширину ТР по заданной мощности рассеивания:

;

для :  мм;

для :  мм;

для  и :  мм.

8. Определяем окончательное значение ширины ТР:

для :  мм;

для :  мм;

для  и :  мм.

9. Определяем активную длину ТР:

для :  мм;

для :  мм;

для  и :  мм.

10.  Осуществим проверку:

для : ;

для : ;

для  и :

2. Расчет низкоомного резистора специальной формы

Определим новое значение коэффициента формы:

 Для резисторов  и :

1-5. Эти величины берем из эти же пунктов для резисторов прямоугольной формы.

6. Определим параметр  по точностному критерию:

 

Для  и :  мм.

7. Определим параметр  по заданной мощности рассеивания:

;

для  и :  мм.

8. Определяем окончательное значение ширины ТР:

для  и :  мм.

9. Определяем:

для  и :  мм.

10.  Выбираем ширину внешней рамки мм.

11.  Осуществим проверку:

для  и : .


Расчет тонкопленочных конденсаторов

В качестве параметра диэлектрика конденсатора выбираем моноокись кремния (SiO) со следующими параметрами:

 - относительная диэлектрическая проницаемость;

 - электрическая прочность;

 - температурный коэффициент емкости;

 - коэффициент старения диэлектрика;

 - при .

Исходными данными для конструирования тонкопленочного конденсатора являются:

 - коэффициент запаса электрической прочности;

 - допуск (точность) на емкости;

 - относительная погрешность удельной емкости;

 - абсолютная погрешность длины и ширины верхней обкладки;

 - коэффициент формы ТК;

 - технологические зоны, предназначенные для компенсации смещения масок при напылении и погрешности  и

Выбираем масочный метод формирования структуры ТК. Все расчеты будут проводятся для конденсаторов ,,.(Так как они все равны)

1. Определим толщину диэлектрика по заданному рабочему напряжению:

 мкм.

2. Т.к. полученное значение не лежит в рекомендуемом диапазоне толщин, то выбираем мкм.

3. Определим значение удельной емкости, исходя их электрических требований:

4. Определить активную площадь ТК (площадь верхней обкладки) по электрической прочности:

5. Определим относительную температурную погрешность:

6. Определим относительную погрешность старения:

7. Определим допустимую относительную погрешность на емкости:

8. Определим относительную допустимую погрешность формы верхней обкладки:

9. Определим ширину верхней обкладки по заданному значению  (по точностному критерию):

10.  Определим площадь верхней обкладки (активную площадь) по точностному критерию:

11. 

12.  Т.к. , то диэлектрик имеет толщину мкм.

13.   мм.

14.   мм.

15.  Определим длину и ширину нижней обкладки:

16.  Определим длину и ширину диэлектрического слоя:

17.  Определим площадь конденсатора:


Расчет тонкопленочных проводников

Выбираем структуру: нихром X20CH80 (подслой) – медь МВ (слой) – никель (покрытие), с удельным поверхностным сопротивлением  Ом/м.

Допустимая плотность тока

При известной толщине проводника  мкм, рассчитаем ширину проводника  и допустимую длину проводника

Расчет навесных компонентов

Согласно техническим требованиям ( и ) и принципиальной схеме выбираем в качестве транзистора VT1 и VT2 бескорпусной транзистор КТ324А  (с верхней частотой  и ).

В качестве навесного конденсатора выбираем К10-73-6В с номиналом С=60000пФ.

Определение площади платы и выбор размера

Площадь платы:

;

 = 3 - коэффициент использования площади платы, учитывающий наличие зазоров, необходимость прокладки проводников, технологические поля и т.д.;

- соответственно площадки i-гo резистора, конденсатора, внешней контактной площадки для контроля параметров, установочная площадь навесного элемента вместе с контактными площадками;

 - количество резисторов, конденсаторов, контактных площадок, навесных элементов. Установочная площадь навесного элемента  включает площадь навесного элемента и площади соответствующих этому элементу контактных площадок с учетом зазоров между ними.

По таблице рекомендуемых значений плат выберем ширину платы , а длину

Похожие материалы

Информация о работе