Исследование влияния режимов получения поликристаллических пластин германия методом горизонтальной направленной кристаллизации и их свойства, страница 12

Исходная пластина разделяется на две составные части I и II

   I

II

Анализ брака пластин по У.Э.С. проходил по точкам ρ<5 и ρ>40, т.к.заданный интервал У.Э.С. был в пределах 5÷40. Анализ полученных пластин представлены в таблице 3.

Таблица 3 - Анализ брака пластин по У.Э.С.

№ пластины

№ части

Вид брака

По каким точкам

 

ρ <5

ρ>40

ρ <5

ρ>40

 

1

2

3

4

5

6

 

29-15

I

-

1

-

5-2

 

II

1

-

7-7

-

 

29-16

I

-

3

-

1-4, 1-5, 2-6

 

II

-

-

-

-

 

29-17

I

-

1

-

7-4

 

II

-

-

-

-

 

29-18

I

-

4

-

2-3, 2-6, 5-5, 6-4

 

II

-

-

-

-

 

29-19

I

-

-

-

-

 

II

-

-

-

-

 

29-20

I

-

1

-

3-4

 

II

2

1

1-4, 2-4

7-5

 

29-21

I

-

3

-

3-2, 3-3, 3-6

 

II

5

1

7-3, 7-4, 7-5, 7-6, 7-7

2-1

 

29-22

I

-

-

-

-

 

II

2

-

7-1, 7-5

-

 

29-23

I

-

6

-

1-5;2-1;2-7;4-6;6-3;6-6

 

II

10

3

1-1,1-2,1-3,1-4,1-5,1-6,1-7,3-1,5-1,6-1

4-4,5-5,7-5

 

29-24

I

-

-

-

-

 

II

3

-

1-3, 1-5, 1-7

 

29-25

I

треснула

 

II

24

-

1-1,1-2,2-1,2-2,2-3,2-4,3-1,3-2,3-3,3-4,4-1,4-2,4-3,5-1,5-2,5-3,5-5,6-1,6-2,6-3,6-4,7-1,7-2,7-4

-

 

29-26

I

-

-

-

-

 

II

6

-

1-1, 1-2, 1-4, 1-5, 3-1,

4-1

-

 

29-27

I

-

2

-

4-3,6-7

II

4

-

1-5,1-7,4-1,5-1

-

Продолжение таблицы 3