Исследование влияния режимов получения поликристаллических пластин германия методом горизонтальной направленной кристаллизации и их свойства, страница 10

После шлифовки одной стороны пластины переворачивается и производится шлифовка другой стороны. Крупные пластины шлифуются без наклейки на притир, мелкие – с наклейкой. После шлифовки обеих сторон пластины извлекаются из кассеты, а в случае наклейки снимаются с притира и подвергаются тщательному обезжириванию для удаления следов мастики.

Обезжиривание проводится промывкой пластин в горячих (до70°С) органических растворителях: четыреххлористом углероде, толуоле или трихлорэтилене. Ванну с органическим растворителем подвергают вибрацией с ультразвуковой частотой. После промывки последовательно в нескольких органических растворителях, в течении 5мин в каждом, пластины промывают дионизованной водой и высушивают в вакууме.

Затем обезжиренные пластины подвергаются химической полировке.

    2.5 Измерение геометрических параметров пластин германия бесконтактным методом

Контролю подлежат изделия, геометрические размеры которых невозможно, либо затруднительно измерить контактными методами:

 - диаметр готовых пластин и линз;

- фаски;

- углы;

- толщина полированных изделий;

- радиуса закруглений.

Назначение процесса – измерение вышеперечисленных геометрических параметров.

Измерения на универсальном измерительном микроскопе УИМ- 21

Настройка микроскопа перед работой.

-  Фокусировка главного микроскопа.

- Подведите край изделия под микроскоп так, чтобы перекрылась часть круглого светового пятна на стекле стола. В поле зрения микроскопа будет видно не резкое изображение.

- Освободите тормозной винт 21 (приложение 1) и вращая маховичок 16, произведите грубую фокусировку на изделие до получения приблизительно отчетливой картины.

- Вращением накатанного кольца 17 добейтесь окончательной точной установки резкости изображения теневого контура.

2.4.1 Процесс измерения линейных размеров ( длин, толщин, диаметров, фасок).

- проверить исправность заземления, включить микроскоп в сеть.

- положить изделие на предметный столик и настроить главный микроскоп. Использовать окулярную головку штриховую ОГУ – 21 и объектив телецентрический МТ – 21.

- навести штриховую линию сетки окулярной головки на край теневого изображения детали.

- снять первый отсчет в продольном либо поперечном сечении.

- навести штриховую линию на другой край теневого изображения.

- снять второй отсчет в том же направлении, что и первый.

- определить измеряемый размер разностью первого и второго отсчета.

- повторить измерения не менее трех раз.

2.4.2 Процесс измерения углов

- проверить исправность заземления, включить микроскоп в сеть.

- положить изделие на предметный столик и настроить главный микроскоп. Использовать окулярную головку штриховую ОГУ – 21 и объектив телецентрический МТ – 21.

- навести любую из штриховых линий на край изображения одной стороны угла

- снять отсчет по лимбу окулярной головки

- далее маховичком 4, повернуть сетку окулярной головки, произведя наводку на вторую сторону измеряемого угла.

- снять второй отсчет в угловом микроскопе.

- определить разность двух отсчетов, это будет искомая величина угла.

2.4.3 Процесс измерения радиусов закруглений.

- проверить исправность заземления, включить микроскоп в сеть.

- положить изделие на предметный столик и настроить главный микроскоп. Использовать окулярную головку профильную ОГР – 23 и объектив смешанный МТ – 24.

- подвести дугу к контуру детали. Вращением маховика совместить дугу с закруглением на детали. Если дуга окулярной головки точно повторяет контур закругления детали, то значение радиуса совпадает с номинальным размером дуги. Если виден просвет по краям – радиус закругления меньше номинального размера дуги, если просвет в центре – радиус закругления больше номинального размера дуги.

3 Экспериментальная часть

Для анализа было взято 56 одинарных и 26 двойных поликристаллических пластин, полученных методом горизонтальной направленной кристаллизации. Исходные данные представлены в таблице 2.

Таблица 2 - Исходные данные