Ионно-ионная эмиссия. Рассеяние ионов. Эффект затенения

7.4. Ионно-ионная эмиссия

Рассеяние медленных ионов

Парный характер столкновений – столкновение двух шаров

вторичная эмиссия

рассеяние

, , , ,  - соответственно углы падения, скольжения, рассеяния, ухода, отдачи

.

Рассеяние ионов

 - угол ухода

Целесообразно использовать легкие ионы, будем считать  > 1

: 1 – 1,2; 2 – 2; 3 – 5; 4 – 10; 5 – 20; 6 – 100.

Эффект затенения

Чем больше потенциал ионизации, тем выше нейтрализация, тем меньше роль многократных соударений

1 – высокий вакуум 2 – пары брома ~ 10-7

Рассеяние медленных ионов

Достоинства метода

• Малая глубина анализа. Он относится к числу наиболее «поверхностных».

• Высокая чувствительность к элементному составу. Она составляет менее 0,1% монослоя, что лучше, чем чувствительность ЭОС

• Возможность получения информации о расположении разнородных атомов друг относительно друга.

• Возможность очистки поверхности или стравливания верхних слоев путем изменения энергии и плотности ионного пучка, что позволяет определить распределение атомов по глубине.

• Метод хорошо совместим с другими методиками исследований. В одной установке могут быть проведены всесторонние исследования поверхностных свойств

Рассеяние медленных ионов

Недостатки

• Разрушение поверхности и изменение ее свойств вследствие
• ионного облучения.

• С помощью этого метода не удается получить (по крайней мере
• в том виде, который существует в настоящее время) информацию о характере связи между частицами и о химических процессах на поверхности.

• Слабая чувствительность к элементам более легким, чем те, из которых состоит матрица