7.4. Ионно-ионная эмиссия
Рассеяние медленных ионов
Парный характер столкновений –
столкновение двух шаров
вторичная
эмиссия
рассеяние
, , , , - соответственно углы падения,
скольжения, рассеяния, ухода, отдачи
.
Рассеяние ионов
- угол ухода
Целесообразно использовать легкие ионы,
будем считать > 1
: 1 – 1,2; 2 – 2; 3 – 5; 4 – 10;
5 – 20; 6 – 100.
Эффект затенения
Чем больше потенциал
ионизации, тем выше
нейтрализация, тем меньше
роль многократных соударений
1 – высокий вакуум
2 – пары брома ~ 10-7
Рассеяние медленных ионов
Достоинства метода
-
Малая глубина анализа. Он относится к числу наиболее «поверхностных».
-
Высокая чувствительность к элементному составу. Она составляет менее 0,1% монослоя, что лучше, чем чувствительность ЭОС
-
Возможность получения информации о расположении разнородных атомов друг относительно друга.
-
Возможность очистки поверхности или стравливания верхних слоев путем изменения энергии и плотности ионного пучка, что позволяет определить распределение атомов по глубине.
-
Метод хорошо совместим с другими методиками исследований. В одной установке могут быть проведены всесторонние исследования поверхностных свойств
Рассеяние медленных ионов
Недостатки
-
Разрушение поверхности и изменение ее свойств вследствие
-
ионного облучения.
-
С помощью этого метода не удается получить (по крайней мере
-
в том виде, который существует в настоящее время) информацию о характере связи между частицами и о химических процессах на поверхности.
-
Слабая чувствительность к элементам более легким, чем те, из которых состоит матрица
