План экспериментальных работ по теме диссертации «Исследование и разработка процесса разделения материалов методом лазерного параллельного термораскалывания»

ПЛАН  ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ  РАБОТ

по теме диссертации

«Исследование и разработка процесса разделения материалов методом лазерного параллельного термораскалывания»

Глава 1.

1.  Исследование и оптимизация различных механизмов образования надреза в объеме стекла на заданной глубине.

1.1.  Образование надреза в объеме стекла с помощью концентратора упругой волны:

-  влияние формы концентратора;

-  влияние величины динамической нагрузки на концентратор;

-  определение оптимального места нанесения надреза (расстояние от края, положение плоскости стекла);

-  определение оптимального размера надреза по отношению к размеру лазерного пучка.

1.2.  Образование надреза в объеме стекла с помощью импульсного излучения лазера на АИГ:

-  определение оптимальных технологических режимов нанесения надреза.

1.3.  Поиск новых методов образования надреза в объеме материала.

-  литературный поиск;

-  экспериментальные исследования.

Глава 2.

2.  Исследование и оптимизация процесса лазерного параллельного термораскалывания стекла.

2.1.  Определение зависимостей основных параметров процесса лазерного параллельного термораскалывания стекла:

-  глубины трещины от скорости перемещения пучка;

-  глубины трещины от плотности мощности излучения;

-  глубины трещины от формы и размеров лазерного пучка;

-  глубины трещины от температуры предварительного нагрева пластины;

-  формы трещины от формы и размеров лазерного пучка.

2.2.  Определение оптимальных условий сканирования пластины по всей ее поверхности с целью получения минимальных отклонений от прямолинейности параллельной трещины:

-  оптимальный шаг сканирования для различных параметров процесса лазерного параллельного термораскалывания;

-  оптимальная форма лазерного пучка;

-  дополнительное термическое или механическое воздействие в зоне пересечения с уже образованной трещиной.

Глава 3.

3.  Исследование и оптимизация процесса лазерного параллельного термораскалывания монокристаллического кварца.

3.1.  Исследование влияния анизотропии кварца на параметры процесса лазерного параллельного термораскалывания;

3.2.  Разработка технологического процесса лазерного параллельного термораскалывания монокристаллического кварца.

Глава 4.

4.  Исследование и оптимизация процесса лазерного параллельного термораскалывания сапфира.

4.1.  Исследование влияния анизотропии сапфира на параметры процесса лазерного параллельного термораскалывания;

4.2.  Разработка технологического процесса лазерного параллельного термораскалывания сапфира.

Глава 5.

5.  Исследование и оптимизация процесса лазерного параллельного термораскалывания кремния.

5.1.  Исследование влияния анизотропии кремния на параметры процесса лазерного параллельного термораскалывания;

5.2.  Разработка технологического процесса лазерного параллельного термораскалывания кремния.

Глава 6.

6.    Исследование и оптимизация процесса лазерного параллельного термораскалывания арсенида галлия.

Глава 7.

7.  Исследование и оптимизация процесса лазерного параллельного термораскалывания германия

Глава 8.

8.  Исследование и оптимизация процесса лазерного параллельного термораскалывания других материалов.