Глава 8. Мероприятия по предотвращению пожаров и взрывов в ремонтном цеху и обеспечение высокой чистоты воздуха
8.1 Очистка воздуха в ремонтном цеху от пыли. Чистые помещения
Для получения многих современных видов промышленной продукции необходимо обеспечить специальную производственную среду. Важнейшим параметром данной среды, наряду с температурой, влажностью и необходимым воздухообменом, является чистота воздуха. Современная техника обеспыливания и контроля позволяет ограничить нахождение в чистом помещении частиц размером свыше 1 мкм — не более 10 частиц в 1 м3.
Первые чистые помещения появились в середине 60-х годов. Их использование позволило повысить качество выпускаемых полупроводниковых приборов и осуществить их дальнейшую миниатюризацию. Чистые помещения хорошо сочетаются с автоматизацией технологических процессов и удалением человека из производственной сферы.
Наряду с чистыми производственными помещениями (ЧПП) используют также биологически чистые помещения (БЧП). В ЧПП нормируют предельно допустимое число частиц в объемной единице воздуха и диаметр частиц. Подобные требования характерны для электронной промышленности, биохимической промышленности и ряда других отраслей. О том, какие высокие требования предъявляются к чистоте воздушной среды при изготовлении некоторых изделий электронной техники, дает представление табл. 8.1
Уровень этих требования определяется характером изделий и особенностями их изготовления. Например, за предельный диаметр частицы принимают половину или даже треть минимального зазора между элементами изделия, узла и т. д. Так, если между элементами микросхемы зазор составляет 1 мкм, то в воздушной среде, в которой производится такая микросхема, не должно быть частиц диаметром более 0,5 или 0,3 мкм.
Главный источник загрязняющих частиц в «чистом помещении» — деятельность и даже пребывание работающих в нем людей, в результате которой генерируются частицы аэрозоля. Один человек за одну минуту в зависимости от характера и интенсивности действий генерирует от 105 до 107 частиц пыли диаметром от 0,3 мкм и более. Если человек стоит или сидит неподвижно, он испускает 105 частиц за 1 мин. Сидя и совершая легкие движения головой и руками — 5 · 105 частиц, при вставании со стула — 2,5 · 105 и т.д.
Таблица 8.1
Требования к чистоте воздушной среды для изготовления
некоторых изделий электронной техники
|
Изделия |
Технологические операции |
Допустимое число частиц, в 1 л воздуха |
Диаметр частиц, мкм |
|
Электроннолучевые трубки СВЧ приборы и генераторные лампы Приемоусилительные лампы и газоразряд-ные приборы Полупроводниковые приборы Фотоэлектронные приборы Пленочные, металл опленочные и лакопленочные конденсаторы Металлобу-мажные, бумажные и слюдяные конденсаторы |
Нанесение люминесцирующего покрытия и органической пленки на экраны (участок делительных машин) Приготовление растворов, финишная очистка деталей, монтажные операции, вакуумное и катодное напыление, изготовление сеток методом литографии, изготовление масок Финишная очистка деталей, монтаж и измерения Финишная очистка деталей, монтаж и изготовление сеток Изготовление фотошаблонов, фотолитография Прецизионная шлифовка, промывка, травление, сортировка, освежение кристаллов, финишная очистка деталей, сборка кассет и приборов, диффузия и вплавление, защита переходов, сборка переходов, сборка переходов на ножку и приварка электродных выводов, герметизация, участок сплавов Нанесение, металлизация и контроль экранов, финишная очистка деталей, монтаж, приготовление суспензий Мойка колб, отжиг, заварка, откачка, тренировка, склад комплектации экранов Получение лаковой пленки Раскрой, металлизация и намотка пленки, заливка композиций, сборка Контактирование и термообработка Заготовка компонентов, лакировка бумаги, металлизация, намотка, пайка и сборка пакетов и конденсаторов, герметизация Участок заготовок и выводов, склады бумаги, фольги и слюды, участок измерения |
30 70 70 70 30 70 30 70 30 70 700 200 700 |
0,5 1,0 1,0 1,0 0,5 1,0 0,5 1,0 0,5 1,0 Не регламен- тируется Не регламен- тируется Не регламен- тируется |
Из рис. видно что уровень запыленности зависит от числа людей в чистом помещении и их деятельности.
Загрязнителями воздуха в помещении являются:
- пыль, проникающая снаружи через неплотности оконных и дверных проемов и вносимая персоналом на одежде, обуви, а также с материалами и деталями;
- пыль и ворс одежды;
- частицы, образующиеся при износе конструкций здания и оборудования;
- загрязнения при ведении технологических процессов, от материалов
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.
