Федеральное агентство по образованию Российской Федерации
Государственное образовательное учреждение
высшего профессионального образования
Владимирский государственный университет
Кафедра конструирования и технологии радиоэлектронных средств
лабораторная работа
по дисциплине: «Физические основы микроэлектроники»
Выполнил:
студент гр. Р-105
Руководитель:
Владимир 2007
1.1 Формулировка задачи
Определить соотношения между электрофизическими характеристиками двух образцов по известным диаграммам температурной зависимости электропроводности.
1.2 Краткие теоретические сведения
Проводимость полупроводника обусловлена концентрацией свободных носителей (электронов в зоне проводимости или дырок в валентной зоне) и величиной их подвижности:
, (1.1)
где - концентрация свободных носителей;
- подвижность носителей;
- подвижность электронов;
- подвижность дырок;
- заряд электрона.
Концентрация носителей зависит от температуры. Для примесной проводимости концентрация носителей (n - электронов, p- дырок) определяется следующим выражением:
, (1.2)
где - эффективная плотность состояний для электронов;
- эффективная плотность состояний для дырок;
- концентрация примесных атомов;
- энергия активации донорных атомов;
- энергия активации акцепторных примесей;
k- постоянная Больцмана;
Т – абсолютная температура.
Концентрация собственных носителей:
, (1.3)
где - ширина запрещённой зоны.
Из выражений (1.1), (1.2) следует, что проводимость примесного полупроводника:
, , (1.4)
проводимость собственного полупроводника:
. (1.5)
Подвижность определяется рассеянием носителей на примесях и тепловых колебаниях решётки. По мере увеличения температуры до определённых пределов подвижность плавно возрастает по закону:
. (1.6)
При дальнейшем росте температуры усиливаются процессы фонон-электронного взаимодействия, вследствие этого подвижность уменьшается по закону:
. (1.7)
Таким образом, проводимость полупроводниковых материалов сильно зависит от температуры, при этом определяющей является температурная зависимость концентрации носителей.
1.3 Решение задачи
Рис.1.1. Температурные зависимости электропроводности образцов 1 и 2 полупроводниковых материалов при высоких (участки a-b и a’-b’) и низких (участки c-d и c’-d’) температурах.
Зависимость проводимости полупроводника от температуры можно представить в виде трех участков на графике: правая часть (область низких температур) - электропроводность определяется примесной составляющей, этому участку соответствует выражение (1.4); средняя часть - снижение величины электропроводности в результате уменьшения подвижности, соответствует выражение (1.7), левая часть (область высоких температур) - примесная проводимость переходит в собственную и резко возрастает, выражение (1.5).
Тангенс угла наклона участка ab к оси абсцисс равен ширине запрещенной зоны ΔW, не зависящей от концентрации примесей. Наклон участка cd к оси абсцисс определяет энергию активации донорного уровня ΔW1.
Энергия активации донорного уровня будет иметь следующее соотношение:
(1.8)
Получается, что
(1.9)
Рассмотрим область низких температур. Фиксируем значение Т1. При этом значение температуры, значение проводимости второго образца больше проводимости первого:
(1.10)
Подставляя выражение (1.1) в неравенство получаем:
(1.11)
В первом образце при температуре Т1 происходит процесс ионизации атомов примеси, во втором образце – все атомы примеси уже ионизированы.
Подставляя в неравенство выражение (1.4) и сократив элементарный заряд, получаем:
(1.12)
Если предположить, что подвижности носителей в образцах равны:
(1.13)
Учитывая выражения (1.9) и (1.13) получаем следующее неравенство:
(1.14)
Эффективная плотность состояний одинакова, то можно сделать вывод:
(1.15)
Концентрация примеси во втором образце больше концентрации примеси в первом.
При дальнейшем увеличении температуры до Т2 графики пересекаются в точке f’. Это означает, что значение проводимости образцов при этой температуре равны:
(1.16)
В первом образце при температуре Т2 происходит процесс ионизации атомов примеси. Подставляя выражение (1.1) и (1.4) проводимость равна:
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.