Установки термического и электронно-лучевого осаждения

Курс «Проектирование и конструирование технологических плазменных ускорителей и установок»

Лекция № 6

УСТАНОВКИ ТЕРМИЧЕСКОГО И ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ

Вакуумные технологические установки разработки Специального Конструкторского Бюро Вакуумных Покрытий (СКБ ВП), г. Рига

Рис. 1. Опытная вакуумная установка УВ59 для нанесения алюминиевого покрытия на нетканое клееное полотно.

Fig. 1. A prototype UV59 vacuum unit to be used for vacuum coating applications on bonded nonwoven fabric.

Fig. 1. Versuchsvakuumanlage UV59 zum Auftragen einer Aluminiumschicht auf Klebvliesstoffe.

Рис. 2. Вакуумная установка УВ61 Предназначена для нанесения отражающего алюминиевого покрытия методом испарения и конденсации в вакууме на ПЭТ-пленку шириной 2445 мм.

Fig. 2. UV61 Vacuum Unit designed for reflective aluminium coating deposition on 2,445-mm wide PET strips, using vacuum evaporation and condensation techniques.

Fig. 2. Vakuumanlage UV61

Diese Anlage ist zum Auftragen einer reflektierenden Aluminiumschicht durch Verdampfen und Kondensation im Vakuum auf PETP-Folien mit einer Breite von 2445 mm bestimmt.

Рис. 3. Вакуумная установка УВ62М

Предназначена для нанесения одно- и двухстороннего алюминиевого покрытия на полиимидную пленку ПМ-4 шириной 600 мм и толщиной 12, 15 и 20 мкм. Пленка с покрытием служит для изготовления экранно-вакуумной тепловой изоляции

Fig. 3. UV62M Vacuum Unit designed for one- or two-sided aluminium coating deposition on 600-mm wide and 12, 15 or 20 urn thick PM-4 polyimide film for shield vacuum heat insulation.

Fig. 3. Vakuumanlage UV62M

Diese Anlage ist für das Auftragen eines ein- oder zweiseitigen Aluminiumüberzugs auf Polyimidfolien PM-4 mit einer Breite von 600 mm und Dicke von 12, 15 und 20 um bestimmt. Dient zur Herstellung einer Abschirm-Vakuum-Wär-meisolation.