Нанесение антикоррозионных покрытий с помощью магнетронно - распылительной системы

УДК 621.454

Нанесение антикоррозионных покрытий с помощью магнетронно - распылительной системы

, студентка гр. 450.

Руководитель , к. т. н., доцент каф. 402

Национальный аэрокосмический университет

им. Н. Е. Жуковского «ХАИ»

На протяжении многих лет человечество сталкивается с проблемой коррозии  деталей машин и механизмов. Как известно, коррозия металлов происходит  в соответствии с законами природы и потому ее нельзя полностью устранить, а можно лишь замедлить. Для предохранения металлов от коррозии на практике применяют антикоррозийные покрытия.

Наиболее эффективным способом защиты от коррозии является  нанесение многокомпонентного покрытия. При помощи покритий можно значительно изменить свойства поверхности исходного конструкционного материала, получая изделия с антикоррозионными и износостойкими свойствами.

Создание нового конструкционного материала процесс дорогостоящий и растягивается во времени, поэтому для получения многокомпонентного покрытия широко используется метод распыления из двух и более независимых разделенных источников с одновременной совместной конденсацией на подложке. Этот метод позволяет  создавать покрытия, используя эффект перемешивания отдельных компонентов на атомарном и кластерном уровне в паровом потоке.

Традиционно для создания новых многокомпонентных пленочных материалов используют катоды-мишени, состоящие из материала, который необходим для нанесения покрытия. Однако создание катода-мишени не всегда возможно.

Таким образом, с помощью  магнетронных распылительных систем, которые включают  n ‑ групп катодов - мишеней можно получить заданное покрытие. Катоды – мишени изготавливаются из компонентов, составляющих покрытие. Благодаря возможности независимого регулирования плотности тока, на каждой из групп мишеней можно контролировать состав наносимого покрытия.