Экзаменационные вопросы по курсу "Физические основы микро- и наноэлектроники" (Переход от микротехнологии к нанотехнологии. Конфокальная микроскопия)

Экзаменационные вопросы.

1.  Переход от микротехнологии к нанотехнологии

2.  Отличие наномира от мира классической физики и от мира квантовой механики

3.  Реальные перспективы нанотехнологий

4.  Понятие континуума

5.  Основные понятия квантовой механики. Волновой дуализм Де Бройля.

6.  Принцип неопределенности Гейзенберга.

7.  Волновая функция. Уравнение Шрёдингера.

8.  Волновые функции свободных частиц

9.  Квантование энергии частица в потенциальном ящике.

10.  Туннельный эффект

11.  Квантовое состояние и вырождение

12.  Принцип запрета Паули

13.  Энергетические зоны.

14.  Подвижность электронов

15.  Энергия Ферми

16.  Эффективная масса электрона.

17.  Понятие о кристаллической решетке

18.  Симметрия кристаллов

19.  Решетки Браве

20.  Индексы Миллера. Плотнейшие упаковки шаров.

21.  Общие понятия об аморфном состоянии вещества.

22.  Аморфные диэлектрики, полупроводники и металлы.

23.  Общие представления о фуллеренах.

24.  Методы получения фуллеренов. Фуллериты.

25.  Энергия связи в кристаллической решетке.

26.  Межатомные связи в твердых телах Методы валентности, молекулярных орбиталей.

27.  Зонная теория твердого тела.

28.  Молекулярные решетки.

29.  Ионные кристаллы

30.  Ковалентные решетки.

31.  Металлические решетки.

32.  Фононы

33.  Магноны

34.  Экситоны

35.  Поляроны.

36.  Понятие фрактала

37.  Примеры фрактальных структур

38.  Кривая Коха

39.  Фрактальная размерность

40.  Фрактальный кластер

41.  Методы моделирования процессов роста фрактальных структур

42.  Методы определения фрактальной размерности

43.  Перколяция

44.  Метод вязких пальцев

45.  Методы получения фрактальных структур

46.  Понятие мультифрактала

47.  Открытые и закрытые системы. Линейные и нелинейные системы.

48.  Динамические системы. Консервативные системы

49.  Эволюция нелинейных систем

50.  Фазовое пространство и фазовая траектория

51.  Понятие аттрактора

1. Принцип действия и устройство биполярного транзистора

2. Принцип действия и устройство полевого транзистора с управляющим р-п переходом

3. Основные характеристики полевого транзистора с управляющим р-п переходом

4. Принцип действия и устройство полевого транзистора с МДП - структурой

5. Основные характеристики полевого транзистора с МДП - структурой

6. Инверторы

7. Автоэмиссионная электроника

8. Термическое вакуумное напыление

9. Конденсация пара и образование пленочной структуры. Недостатки метода ТВН

10. Ионное (катодное) напыление

11. Ионно-плазменное напыление

12. Эпитаксия из газовой фазы

13. Критерий Джексона

14. Жидкофазная электроэпитаксия

15. Молекулярно-лучевая эпитаксия

16. Методы создания и переноса рисунка. Общие понятия

17. Литографические резисты. Их основные характеристики

18. Фотолитография

19. Рентгеновская литография

20. Источники мягкого рентгеновского излучения для рентгеновской литографии

21. Использование синхротронного излучения и его преимущества

22. Электронная литография. Проекционная и сканирующая

23. Электронно-оптическая система для электронной литографии. Совмещение

24. Модель Каная в электронной литографии

25. Модель прямого рассеяния в электронной литографии

26. Модель обратного рассеяния в электронной литографии

27. Процессы энерговыделения в зоне электронного пучка в ЭЛГ

28. Эффект близости в электронной литографии

29. Прецизионное травление в субмикронной технологии

30. Реактивное ионно-плазменное травление

31. Термическая диффузия

32. Ионное легирование. Общие представления и физические принципы

33. Теория ЛШШ. Основные физические принципы

34. Достоинства и недостатки метода ионной имплантации

35.Термический отжиг

36. Просвечивающая электронная микроскопия

37. Подготовка образцов к исследованию в ПЭМ

38. Растровая электронная микроскопия. Основные принципы.

39.Химический контраст в РЭМ

40. Топографический контраст в РЭМ

41. Вольтовый контраст в РЭМ

42. Контраст в режиме наведенного тока в РЭМ

43. Магнитный контраст 1 рода в РЭМ

44. Магнитный контраст 2 рода в РЭМ

45. Оже-спектроскопия

46. Рентгеновский микроанализ

47. Спектроскопия обратного рассеяния Резерфорда

48. Ионный микроанализ и ионная масс-спектрометрия

49. Ионный микроскоп Мюллера и ионная микроскопия

50. Туннельная и атомно-силовая микроскопия

51. Принцип работы сканирующего туннельного микроскопа

52. Принцип работы атомно-силового микроскопа

53. Микроскопия ближнего поля

54. Конфокальная микроскопия