Устаткування для проведення процесу фотолітографії, страница 2

Шаблони для даної системи нічим не відрізняються від шаблонів, вживаних для контактної фотолітографії. Подальшим|дальшим| її розвитком стала проекційна фотолітографія з|із| багатократною|багаторазовою| кроковою репродукцією. За цим способом невелике зображення створюється на поверхні пластини за допомогою шаблону, виготовленого методом фотокомпозиції і збільшеного в 2, 4, 5 або 10 разів в порівнянні із зображенням на пластині. Процес потім повторюють багато разів, так, щоб зображення покривали всю поверхню пластини. При використанні для експозицій дальнього|далекого| ультрафіолетового випромінювання роздільна здатність підвищується.

Розглянемо|розглядуватимемо| схему установки суміщення|сполучення| та контактного експонування (рис. 6). Всі механізми і пристрої|устрої|, що забезпечують функціонування установки, можна об'єднати в п'ять основних взаємозв'язаних конструктивних вузлів:

-  система подачі напівпровідникової пластини із|із| стандартної касети на робочу позицію і назад (позиції 1-2, 6-7);

-  пристрій|устрій| суміщення|сполучення| топології фотошаблону і пластини (позиція 3);

-  пристрій|устрій| контролю процесу суміщення|сполучення| (позиція 4); освітлювальний пристрій|устрій|,  що забезпечує  процес  експонування (позиція 5);

-  система управління процесом.

Рисунок 6 – Схема установки суміщення та експонування: 1 – касета, яка подає; 2,6 – транспортуючий канал; 3 – пристрій суміщення; 4 - пристрій контролю процесу суміщення; 5 – пристрій, що освічує; 7 – прийомна касета

Подачу пластин в робочу зону в більшості відомих установок суміщення|сполучення| і експонування, у тому числі і з|із| напівавтоматичним робочим циклом, здійснюють уручну|вручну|. Це знижує продуктивність установки і ускладнює конструкцію пристрою|устрою| суміщення|сполучення|, оскільки|тому що| для забезпечення доступу до місця|місце-милі| фіксації пластини у момент її установки воно повинне бути виведене з-під фотошаблону.

При розробці повністю|цілком| автоматизованих ділянок фотолітографії особливо великого значення набувають питання транспортування між агрегатами і міжопераційного транспортування. Від технічного рівня їх рішення|розв'язання,вирішення,розв'язування| істотно|суттєвий| залежить продуктивність установки і можливість|спроможність| підвищення відсотка|процента| виходу придатних виробів за рахунок виключення|винятку| забруднення пластин, обумовленого їх контактом з|із| оператором, і значного скорочення вірогідності|ймовірності| їх поломки при транспортуванні, що особливо важливе|поважне| при обробці пластин великого діаметру.

Універсальний механізм поштучної видачі пластин з|із| потокової лінії обробки пластин «Ладу-125» показаний на рис. 7.

Касету з|із| 25 оброблюваними пластинами поміщають на підставі 22. Переміщення підстави|основи,заснування| з|із| касетою верх на кожен крок здійснюється від електродвигуна 4 через однооборотный| механізм 6—8 ходовим гвинтом 11 з|із| гайкою 5. Верхнє і нижнє положення|становища| підстави|основи,заснування| з|із| касетою обмежуються мікровимикачами 13 і 21. Штовхач|штовхальник| 2 висуває пластини з|із| касети на лоток 18.

Рисунок 7 – Універсальний механізм поштучної видачі плвстин: 1, 10,

20 – напрямляючи; 2, 6 – штовхачі; 3, 14 – пневмоціліндри; 4 – електродвигун;  5 – гайка; 7, 13, 16, 21 – мікроперемикачі; 8 – шків; 9 – ремінь; 11 – ходовий гвинт; 12 – шків; 15 – стійка; 17 – тяга; 18 – пневматичний лоток; 19 – фотоприймач; 22 – основа; 23 - штанга

Пристрій|устрій| суміщення|сполучення| є|з'являється,являється| основним механічним вузлом установки, що визначає можливість|спроможність| практичної реалізації граничних характеристик устаткування|обладнання|. Його функціональне призначення полягає у взаємній  орієнтації    напівпровідникової пластини і фотошаблону і в створенні|створінні| необхідного контакту або зазору між ними в процесі експонування.

Пристрій|устрій| об'єднує механізми кріплення фотошаблону, кріплення і вертикального переміщення пластини і маніпулятор.

Базування фотошаблону в утримувачі|тримачі| здійснюється по трьом жорстким упорам, до яких він підтискається підпружиненими притисками і закріплюється механічно або вакуумним присосом. Для забезпечення доступу до робочої зони при установці напівпровідникової пластини, наладці при ремонті можливий поворот утримувача|тримача| з|із| фотошаблоном на 30°| щодо|відносно| горизонтальної осі. У робочому положенні|становищі| утримувач|тримач| надійно фіксується вакуумним присосом. У ряді|в ряді| конструкцій шаблонотримач| можна переміщати в двох взаємно перпендикулярних|перпендикуляр| напрямах|направленнях| на величину 0,5—2 мм і повертати на кут|ріг,куток| 1—5°|.