Охорона праці та техніка безпеки на дільниці фотолітографії

6 Охорона праці та техніка безпеки на дільниці фотолітографії

У процесі фотолітографії застосовуються хімічні реактиви, тому вимоги техніки безпеки при роботі з|із| ними зберігаються ті ж, що при хімічному травленні|цькує|.

У технології хімічної обробки кремнієвих пластин і структур з|із| р-п| переходами широко використовуються вельми|дуже| токсичні речовини, кислоти, луги, солі|соль| і всілякі розчинники, робота з|із| якими вимагає уваги і обережності.

Робота на ділянках хімічного травлення|цькує| і знежирення допускається за наявності справної припливно-витяжної вентиляції і використанні  необхідного спецодягу. При роботі з|із| плавиковою кремнефтористоводневою, азотною і іншими кислотами і їх солями|соль| необхідна максимальна герметичність вживаного устаткування|обладнання|, посуду, в якому вони зберігаються, і безперервність технологічного процесу. При роботі необхідно захищати особу|обличчя,лице| маскою з|із| органічного скла, руки — тонкими гумовими рукавичками, а передню частину|частку| тіла — полівінілхлоридними|полівінілхлорид| фартухами. Стулки витяжної шафи повинні бути підняті не більше ніж на 25—35 см, щоб|аби| в шафі знаходилися|перебували| тільки|лише| руки.

При розливі кислот необхідно користуватися протигазом. Використаний хімічний посуд і прилади повинні звільнятися|визволяти| від залишків хімікатів і ретельно промиватися. Відпрацьовані розчини повинні нейтралізуватися, їх категорично забороняється зливати в побутову каналізацію.

Після|потім| закінчення процесу травлення необхідно ретельно прибрати робоче місце|місце-милю|, видалити|знищувати,віддаляти| всі хімічні і газові прилади.

Враховуючи, що багато розчинників і хімічні реактиви при контакті з|із| розжареним металом запалали, розкладаються|розкладають| з|із| утворенням отруйливих|отруйних| речовин, категорично забороняється користуватися електроплиткою з|із| відкритою|відчиняти| спіраллю.

При роботі з|із| ультразвуковими установками необхідно простежити за якістю їх заземлення, не допускати безпосереднього контакту рук з|із| рідиною і ультразвуковим інструментом.

На ділянці хімічної обробки обов'язково повинна бути аптечка з|із| необхідними речовинами для надання|виявлення| першої долікарської допомоги, а всі працівники цих ділянок повинні уміти надавати цю допомогу постраждалим товаришам.

При роботі на установках експонування і поєднання|сполучення|, прояву|вияву| і промивки|промивання| є|наявний| електроустаткування|електрообладнання,електроноустаткування| з|із| напругою|напруженням| 220 В. Каркас установки повинен бути надійно заземлений. Враховуючи, що при експонуванні використовуються ртутно-кварцові лампи, які є|з'являються,являються| могутніми джерелами ультрафіолетового випромінювання, необхідно стежити, щоб|аби| персонал не попадав під опромінювання|опромінення|.

У зв'язку з тим що на анод генераторний лампи установки плазмохімічного| травлення|цькує| подається напруга|напруження| 4000 В. Обслуговування подібних установок дозволяється тим, що налагоджують, що склали іспити по електробезпеці при обслуговуванні високовольтного устаткування|обладнання|.