Теоретическое выражение для распределения интенсивности I в дифракционной картине объекта типа "щель" при облучении его плоской монохроматической волной было получено Фраунгофером и записывается как
I = I0 [sin (ka sin θ ) / ka sin θ]2 = I0 [sin Ψ/ Ψ]2, (7.1)
где k = 2π / λ - - волновое число; a- - полуширина щели.
Выражение (7.1) будет каждый раз обращаться в нуль, если аргумент синуса Ψ будет кратен nπ, где n = ± 1, 2, 3... Относительно угла θ данное условие запишется следующим образом:
sin θn ≈ θn = nλ / 2a. (7.2)
Выражение (7.2) позволяет понять, почему падающая волна должна быть монохроматичной. При освещении объекта немонохроматичным потоком, т. е. не обладающим временной когерентностью, различным значениям λ будут соответствовать различные пространственные положения минимумов, а соответственно, и максимумов интенсивности. В результате суперпозиции многих дифракционных картин возникает некоторое усредненное распределение, имеющее апериодический характер, в котором информация об объекте будет потеряна.
Дифракционная картина, возникающая при когерентном освещении объекта, содержит нули и максимумы интенсивности. При регистрации распределения в дифракционной картине важным является не угловое, а линейное положение экстремумов в плоскости наблюдения, зависящее от расстояния “объект – плоскость z0”. По положениям xn можно вычислить искомую ширину измеряемого объекта 2а. При z0 >> xn, когда угол θn невелик, справедливо соотношение xn ≈ z0 θn. С учетом (7.2) для координат минимумов интенсивности получим:
xn ≈ z0 nλ / 2a. (7.3)
Приняв во внимание соотношение z0 >> xn, для произвольного угла θ можно записать sin θ ≈ θ = x / z0, а для аргумента синуса в (7.1)
Ψ = 2π a x / λ z0.
По известным координатам минимумов можно вычислить искомую ширину измеряемого объекта 2а ≈ z0 nλ / xn.
В силу неопределенности начала отсчета координаты xn на практике искомый линейный размер 2а удобнее рассчитывать по взаимному положению двух соседних нулей интенсивности в дифракционной картине. Трудностью здесь является отсутствие эквидистантности экстремальных точек дифракционной картины в плоскости регистрации. Из рис. 7.1 легко понять, что с ростом дифракционного порядка n расстояние между соседними минимумами увеличивается. Поэтому в качестве информа-ционных целесообразно использовать низкие порядки, например, измерять расстояние между минимумами симметричных относительно оси z первых или первого и второго порядков. Для последнего случая, используя (7.3), получим:
2а ≈ z0 λ / (x2 - x1).
Техническая реализация метода предполагает использование визуального канала мощного микроскопа для наведения лазерного зонда на измеряемый элемент. Контроль дифракционного распределения осущест-вляется в прямом или отраженном свете, например с помощью многоэлементного линейного ПЗС-фотоприемника. При этом в плоскости регистрации (плоскости фотоприемника) расстояние между соседними минимумами будет зависеть еще и от углового увеличения оптической системы Г×. Ввиду того, что значения Г× и z0 не удается точно задать или измерить, целесообразно калибровать измерительное устройство по эталону с целью определения обобщенной константы C, связывающей искомый размер элемента и разность координат минимумов в плоскости фотоприемника: 2а = С / (x2 - x1).
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.