Химическая обработка навесок хрома перед напылением проводится в следующей последовательности. Сначала навески промываются в бензине в течение 10 минут с последующей сушкой на воздухе 5-10 минут. После этого навески обезжириваются в водном растворе следующего состава: NaOH - 20 г/л; NaCO3 - 50 г/л. Перед обезжириванием раствор подогревается до температуры 90° С, и 5-7 минут обрабатывают им навески. Далее навески промываются проточной, а затем горячей дистиллированной водой. Поверхность навесок должна полностью смачиваться водой. После обезжиривания навески проходят кислотную обработку в травителе следующего состава:
Н2SО4 (плотность - 1,84) - 1 часть,
НС1 (плотность - 1,19) - 1 часть,
вода дистиллированная - 1 часть.
Травитель подогревается до температуры 30-40°С и выдерживают в нем навески 2-3 минуты. После хрома последовательно промываются горячей, проточной холодной дистиллированной водой, после чего навески сушатся в сушильном шкафу при температуре 100°С до полного высыхания.
Химическая обработка навесок меди перед напылением проводится в следующей последовательности. Навески меди 10 минут кипят в трихлорэтане с последующей сушкой на воздухе до полного высыхания.
После, обезжиренные навески в течении 1-2 минут протравливаются в
разбавленной азотной кислоте и тщательно промывают дистиллированной водой. Навески помещают в сушильный шкаф, где они сушатся в течение 10 минут при температуре 100°С.
Химическая обработка испарителей из вольфрама и молибдена проводится в следующей последовательности. Испарители обезжириваются в кипящем трихлорэтане в течении 10 минут и затем сушатся на воздухе 5-10 минут. Далее испарители обрабатываются 7-10 минут в горячем (70-80°С) водном растворе следующего состава:
K[Fe(Cm,)]-300 г/л,
NaOH-A5vln.
Обработку проводят в горячем травителе (80-90°С) 2-3 минуты. Испарители из молибдена обрабатываются в травителе следующего состава:
H2SO4 (плотность - 1,84) - 1 часть,
НИОз (плотность - 1,19) - 1 часть,
вода дистиллированная - 1 часть.
Температура травителя 50-60°С, время травления 1 минута. После кислотной обработки испарители промывают в горячей проточной воде, затем в холодной дистиллированной воде и сушат в сушильной камере при температуре 100°С до полного высыхания.
Напыление тонких пленок хрома и меди проводится на вакуумной установке УВН-2М с рабочим давлением Р = 2*1 (Г5мм.тр.ст. Навески хрома выполняются из проволоки Х20Н80 ГОСТ 12766-67). Для навесок меди используют медь вакуумной плавки МВ-1. В качестве испарителя для хрома используется вольфрамовая проволока, диаметром 1 мм, а для меди молибденовая лодочка. Поликоровая пластина укрепляется на подогреваемом столике установки УВН-2М, позволяющей подогревать подложку до температуры порядка 300°С. Хром и медь напыляются за единый технологический процесс без разгерметизации камеры с интервалом между напылениями 1-2 минуты. Подложка предварительно прогревается до температуры 250°С.
Испарители с навесками обезгаживаются нагревом в вакууме. Пленка нихрома напыляется до получения поверхностного сопротивления 50-100 Ом, что соответствует толщине 100-200 А. Время напыления меди 2-3 минуты. Подложка находится на расстоянии 15 см от испарителя.
4.3 Электрохимическое осаждение меди и серебра
Пластины поликора с напыленным слоем меди толщиной 0,5-0,8 мкм
протираются венской известью с целью удаления следов масла, затем травятся в течении 10 с в 2% растворе персульфата аммония. Такая обработка обеспечивают хорошую адгезию гальванически осажденного слоя меди с вакуумно напыленным слоем. Меднение проводится в сернокислом электролите следующего состава:
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.