Процесс ионной имплантации поверхности деталей машин, страница 4

        2 – коэффициент пребывания детали в зоне ионного пучка с учетом вращения детали и приспособления;

       4,25 – коэффициент соотношения скорости вращения карусели от времени пребывания детали в зоне ионного луча;

       6,25х10¹² -  количество частиц приходящихся на 1 см² площади в 1секунду при токе I=1мкА.

Для выполнения операции добора оставшейся дозы  при необходимости повторить расчеты по формулам с   по . Имплантировать окончательно до заданной по режиму дозы.

Оптимальная доза имплантации иттербия в детали машин D=5х10¹⁶ ион/см².

После окончания заданного времени обработки необходимо закрыть рабочую шторку находящиеся между источником и приемной камерой.

На декадном переключателе тигель выставить значение [0:0] и дождаться пока не исчезнет ионный луч, после чего выключить ионный источник питания путем перевода тумблера «Стоп» в  верхнее положение.

Закрыть вакуумные затворы:

 - объединяющий паромасленный насос с камерой ионного источника;  

- объединяющий паромасленный насос с приемной камерой;

- объединяющий приемную камеру и камеру ионного источника.

Выдержать детали в приемной камере в течение 15 – 20 минут для охлаждения.

Развакуумировать приемную камеру и произвести разгрузку приспособлений с деталями и образцами-свидетелями на рабочий стол. Дождавшись полного остывания поверхности деталей, произвести снятие деталей машин и образцов-свидетелей с приспособлений и отправить их на контроль в специальной таре.

Процесс имплантации деталей иттербием выполняется оператором установки, требования к оператору изложены инструкции по охране труда.

К работе на установке допускается обслуживающий персонал, хорошо знающий устройство и работу установки, комплектующего оборудования, электропитания, вакуумных устройств, а также технологический процесс, для которого установка предназначена, и прошедший подготовку в соответствии с требованиями ГОСТ 12.0.004-79.

Контроль деталей машин и образцов свидетелей  осуществляется с целью определения качества ионной имплантации.

Контроль деталей осуществляется, визуальным сравнением имплантированной детали с контрольным образцом. Не допускается у имплантированной детали наличие сколов и светов побежалости.

Приемочный контроль партии (садки) осуществляется на образцах-свидетелях, т.к. является разрушающим контролем. Контроль производится методом определения микротвердости у образцов-свидетелей в исходном и имплантированном состоянии, и сравнивании их с контрольным образцом детали из соответствующего материала (сплава).

Образцы-свидетели должны быть одной и той же партии деталей,  марки материала, состояния по обработке поверхности. В качестве образца-свидетеля может быть использована забракованная деталь по геометрическим размерам. Образцы свидетели должны быть помечены специальной маркировкой.

 Микротвердость определять на микротвердомере типа ПМТ-3 при нагрузке 20 г, непосредственно с поверхности образцов-свидетелей исходного и имплантированного состояний.

Запись замеров микротвердости производить в специальном журнале, по форме  (см. приложение А). Результаты контроля считать факультативными  (микротвердость имплантированных деталей примерно на 10 %  выше, чем микротвердость деталей в исходном состоянии).

На основание контроля заполняется сопроводительная документации (маршрутная карта).

Контроль деталей и образцов-свидетелей проводится в отделе ионной имплантации контролером.