Методы диагностики и анализа микро- и наносистем

Конспекты лекций

• Многоканальный бинарный обнаружитель пачек импульсов с динамическим запоминающим устройством

Учебные пособия

• Методы определения электрофизических параметров полупроводников. Анализ структурного и элементного состава кристаллов методами ионной спектрометрии. Методы электронной спектроскопии. Методы электронной микроскопии