Определение параметров и рабочих характеристик вакуумной установки для очистки поверхности лопаток потоком ионов, создаваемых плазменно-ионным ускорителем, страница 6

(4.70)

(4.71)

(4.72)

Эффективная быстрота откачки:

(4.73)

Тогда:

(4.74)

Давление в конце четвертого участка равно давлению в начале пятого . Определим давление в конце пятого участка:

(4.75)

Проводимость трубопровода от выходного сечения ловушки до ФН:

(4.76)

(4.77)

(4.78)

Эффективная быстрота откачки:

(4.79)

Тогда:

(4.80)

Давление в конце пятого участка равно давлению в начале шестого Определим давление в конце шестого участка:

(4.81)

Проводимость трубопровода от клапана до ФН:

(4.82)

(4.83)

(4.84)

Эффективная быстрота откачки:

(4.85)

Тогда:

(4.86)

Давление в конце шестого участка равно давлению в начале седьмого . Определим давление в конце седьмого участка:

(4.87)

Проводимость трубопровода от выходного сечения клапана до ФН:

(4.88)

(4.89)

(4.90)

Эффективная быстрота откачки:

(4.91)

Тогда:

(4.92)

Давление в конце седьмого участка равно давлению в начале восьмого .

Давления на восьмом и девятом участках равны.

Таблица 4.2 – Распределение давления по длине трубопровода на втором участке системы

Участок

d, см

l, см

U, л/с

U', л/с

U'', л/с

Р', торр

Р'', торр

1

Выход из ВК

8.5

-

367

21.045

21.7

2.408·10-2

2.395·10-2

2

Трубопровод

8.5

6

1238

21.7

22.1

2.395·10-2

2.388·10-2

3

Клапан

-

-

550

22.1

23.05

2.388·10-2

2.372·10-2

4

Трубопровод

8.5

140

53

23.05

40.742

2.372·10-2

2.2204·10-2

5

Ловушка

-

-

250

40.742

48.675

2.2204·10-2

2.169·10-2

6

Трубопровод

8.5

15

495

48.675

53.98

2.169·10-2

2.151·10-2

7

Клапан

-

-

500

53.98

60.5

2.151·10-2

2.133·10-2

8

Трубопровод

6,3

50

60.5

60.5

2.133·10-2

2.133·10-2

9

Вход в насос

-

-

2.133·10-2

2.133·10-2

График распределения давлений по длине трубопровода на 2-м участке представлен на рисунке 4.4.

Рисунок 4.4 – График распределения давлений по длине трубопровода


4.3. Расчет третьего участка вакуумной системы

Участок вакуумной системы между высоковакуумным и форвакуумным насосом (третий участок).

Рисунок 4.5 – Схема третьего участка вакуумной системы от агрегата до ФН.

Общая проводимость участка вакуумной системы от агрегата ВА-8-4 до форвакуумного насоса ВН-1МГ:

(4.93)

(4.94)

Выберем предварительное соотношение между проводимостями участков , . Проводимость клапанов ,  и ловушки .