Министерство образования Российской Федерации
Владимирский государственный университет
Факультет радиофизики, электроники и
медицинской техники
Кафедра КТРЭС
Лабораторная работа №3
по дисциплине
Физические основы микроэлектроники
Выполнил:
Проверил:
Владимир, 2003
Зависимость стационарного распределения неравновесных носителей от координаты в фоторезисторе имеет следующий вид:
, где Q – плотность потока излучения; 
-
коэффициент поглощения; 
- квантовый выход; R – коэффициент отражения; L – диффузионная длина; 
- время жизни носителей заряда; S – скорость поверхностной
рекомбинации; D – коэффициент
диффузии;
По
данному выражению был построен график зависимости (рис.1) при следующих
исходных данных: D=4*10-3м2*с-1, S=20м*с-1,
=106м,
L=10-5м, =2*10-7с.
Рис.1
Нормированное стационарное распределение концентраций неравновесных носителей
по координате (D=4*10-3м2*с-1, S=20м*с-1,
=106м,
L=10-5м, =2*10-7с).
При изменении времени жизни носителей график приобретает следующий вид:
Рис.2 Нормированное стационарное распределение концентраций неравновесных носителей по координате при соответствующем времени жизни:
1) 1=2*10-7с;
2) 2=1.5*10-7с;
3) 3=10-7с.
При уменьшении времени жизни максимум концентрации неравновесных носителей на графике смещается влево и уменьшается относительно концентрации неравновесных носителей на поверхности. Это объясняется тем, что при уменьшении времени жизни носителей, уменьшается и расстояние которое они успевают пройти до рекомбинации. Следовательно, максимум концентрации будет ближе к поверхности полупроводника. Уменьшение максимума объясняется тем, что, хотя абсолютные значения концентрации неравновесных носителей в области максимума функции возрастают, но значения концентрации неравновесных носителей p(0) на поверхности полупроводника возрастают значительней, поэтому относительное значение максимума уменьшается.
При изменении коэффициента поглощения график приобретает следующий вид:
Рис.3. Нормированное стационарное распределение концентраций неравновесных носителей по координате при соответствующем коэффициенте поглощения:
1) 1=9*105м;
2) 2=106м;
3) 3=107м.
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.