Курс «Технологические генераторы плазмы»
Лекция № 23
ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ УСТАНОВКА «ВИХРЬ»
Схема технологической установки «Вихрь». Дуговой режим работы
1.
Недостатки традиционных дуговых генераторов плазмы:
1. Наличие капельной фазы.
2. Очистка поверхности изделия атомами (ионами) материала покрытия, что приводит к «замуровыванию» загрязнений.
3. Малая зона обработки.
4. Высокая температура образования стехиометрического соотношения химических соединений типа TiN, а также оксикарбонитридов других металлов.
5. Большая тепловая нагрузка за счет бомбардировки вторичными электронами, ионами, атомами, нагрева излучением из микропятен и горячей поверхности катода.
6. Высокие потери распыленного материала при использовании лайнерных систем (плазмоводов) в случае необходимости получения беcкапельной фазы.
7. Наличие ограничения снизу по вкладываемой мощности для поддержания устойчивого режима горения вакуумной дуги.
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.
