Схема технологической установки
«Вихрь». Дуговой режим работы
1.
Недостатки традиционных дуговых генераторов плазмы:
1. Наличие капельной фазы.
2. Очистка поверхности изделия атомами (ионами)
материала покрытия, что приводит к «замуровыванию» загрязнений.
3. Малая зона обработки.
4. Высокая температура образования стехиометрического
соотношения химических
соединений типа TiN, а также оксикарбонитридов других металлов.
5. Большая тепловая нагрузка за счет бомбардировки
вторичными электронами, ионами, атомами, нагрева излучением из микропятен и
горячей поверхности катода.
6. Высокие потери распыленного материала при
использовании лайнерных систем (плазмоводов) в случае необходимости получения
беcкапельной фазы.
7. Наличие ограничения снизу по вкладываемой мощности
для поддержания устойчивого режима горения вакуумной дуги.
