Исходные материалы. Проектирование вакуумной технологической установки

Содержание

Перечень сокращений, условных обозначений, символов, единиц и терминов

Введение

1  Конструкторская часть

1.1  Проектирование вакуумной технологической установки

1.1.1 Конструкция технологической установки

1.1.2 Основные технические данные и характеристики установки

1.1.3 Проектирование и конструирование вакуумной камеры

1.1.4 Проектирование и расчет магнетронной распылительной системы (МРС)

1.1.4.1 Выбор геометрии мишени и положения подложки

1.1.4.2 Выбор и расчет рабочих и конструктивных параметров МРС

1.1.4.3 Описание магнетронной распылительной системы

1.1.5 Проектирование ускорителя с анодным слоем (УАС)

1.1.5.1 Принципиальная схема ускорителя

1.1.5.2 Расчет основных параметров УАС

1.1.5.3 Расчет магнитной системы УАС

1.1.5.4 Структурная схема системы, предназначенной для очистки поверхностей деталей

1.1.5.5 Описание УАС и системы для очистки

1.1.5.5.1 Ускоритель с анодным слоем

1.1.5.5.2 Система, предназначенная для очистки поверхностей деталей

1.1.6 Расчет рабочих параметров обработки деталей в вакууме

1.2 Расчет вакуумной системы

1.2.1 Выбор размера и материала камеры

1.2.2 Определение суммарного газовыделения и натекания в вакуумную установку

1.2.2.1 Суммарное газонатекание

1.2.2.2 Расчет газовыделения из материалов камеры

1.2.2.3 Расчет газовыделения и газонатекания через уплотнения

1.2.2.4 Технологическое газонатекание

1.2.2.5 Расчет газонатекания при установившемся режиме

1.2.3 Выбор вакуумных насосов

1.2.3.1 Выбор высоковакуумного насоса

1.2.3.2 Выбор форвакуумного насоса

1.2.4 Выбор схемы вакуумной системы

1.2.5 Определение конструктивных размеров элементов вакуумной системы

1.2.5.1 Участок вакуумной системы между высоковакуумным насосом и откачиваемым объектом

1.2.5.2 Участок вакуумной системы между диффузионным насосом и форвакуумным насосом

1.2.5.3 Участок вакуумной системы между откачиваемым объектом и форвакуумным насосом

1.2.6 Проверка правильности выбора вакуумных насосов

1.2.7 Расчет времени откачки в неустановившемся режиме

1.3 Разработка системы подачи рабочего газа

1.4 Расчет на прочность поджимающих нижний фланец камеры пружин

1.5 Расчет надежности толщины получаемого покрытия

2  Технологическая часть

2.1   Описание технологического процесса нанесения покрытия

2.1.1 Технологический процесс нанесения покрытия на изделия из  металла

2.1.1.1 Требования к деталям, поступающим на покрытие

2.1.1.2 Предварительная химическая очистка поверхности

2.1.1.2.1 Очистка изделий из алюминия

2.1.1.2.2 Очистка изделий из меди

2.1.1.2.3 Электролитическая очистка железа и стали

2.1.1.3 Химическая очистка держателей

2.1.1.4 Обработка деталей в вакууме

2.1.1.5 Контроль качества покрытия

2.1.2 Технологический процесс нанесения покрытия на изделия из пластмассы

2.1.2.1 Требования к материалу и форме деталей

2.1.2.2 Предварительная химическая очистка поверхности

2.1.2.3 Нанесение грунтовочного слоя лака

2.1.2.4 Нанесение металлического покрытия в вакууме

2.1.2.5 Нанесение защитного слоя лака

2.1.2.6 Основные свойства покрытия

2.1.3 Технологический процесс нанесения покрытия на изделия из стекла и керамики

2.1.3.1 Особенности химической очистки стекол и керамик

2.1.3.2 Химическая очистка поверхности стекла

3  Безопасность жизнедеятельности

3.1 Выявление и анализ источников опасных и вредных производственных факторов

3.2 Разработка мероприятий по предотвращению или ослаблению воздействия опасных и вредных производственных факторов

3.3 Обеспечение экологической безопасности

4  Экономическая часть

4.1 Выбор показателей сравнения и приведение установки в сопоставимые условия

4.2 Расчет экономических показателей

4.2.1 Определение приведенных затрат

4.2.2 Определение удельных приведенных затрат

Заключение

Перечень ссылок