Для некоторых видов применения, например, для нанесения просветляющих покрытий на фотолинзы или стекла очков, используются многокамерные проходные установки. Рис. 8.
Полусферы диаметром до 1 м перемещаются в тактовом режиме через всю установку, причем вакуумирование, очистка тлеющим разрядом, нагрев и нанесение покрытий осуществляются одновременно в отдельных камерах. Такой концепт целесообразен только тогда, когда отдельный продукт должен изготовляться с определенной пленочной системой в больших количествах. При использовании таких проходных установок можно отказаться от гибкости однокамерной установки.
Причина здесь заключается в том, что перестройка отлаженного процесса на другую форму подложки или на другие системы пленок не может быть осуществлена за короткий срок, не говоря уже о перестройке с полусферы на полусферу. Но по экономическим причинам не может быть и речи о более продолжительном времени для наладки и кондиционирования крупных установок как это бывает в случае небольших установок. Сюда прибавляются технические причины, которые заставляют сомневаться в рентабельности использования таких установок при переменных условиях:
- Испарители должны надежно работать в 3-слойном режиме без нарушения вакуума приблизительно 1 неделю.
- Сильно диссоциирующие испарительные материалы должны заново загружаться для каждого цикла испарения. Это может быть достигнуто только путем извлечения тигля через шлюз под вакуумом или с помощью большой тигельной карусели с одной свежей чашей на загрузку.
- Для различной кривизны линз должны соответственно согласовываться параметры луча пушки или применяемые маски распределения паров.
- Для большой пропускной способности и постоянных условий остаточного газа и испарения было бы желательно иметь отдельную напылительную камеру для каждого слоя. Например, в случае широкополосного просветления это приводит к установкам с 5 до 7 камер. Длительное повреждение установки оказывает катастрофальное воздействие на производство.
- Если совершается при напылении ошибка, которую можно установить на готовом продукте, то все находящиеся в машине подложки являются в этом случае браком.
Обобщая сказанное: Напылительная установка проходного действия по нашему мнению целесообразна только тогда, когда крупные партии изделий с одинаковой спецификацией покрытия оправдывают высокие капиталовложения на такую установку. Комбинация высокой производительности с гибкостью процесса, то есть с варьируемой последовательностью наносимых слоев, неизбежно приводит к машине, работающей с большим риском и недостаточным выходом продукции.
Проходной установке с полусферами можно было бы противопоставить установку для нанесения покрытий на отдельные подложки. Примерами здесь могут служить металлизация пластин (уга^ег) или нанесение покрытий на компактные диски (сотрас! сИзс). Высокая производительность достигается за счет крайне короткого времени цикла.
В случае нанесения покрытий на компактные диски (СБ) распыляется в течение 3-4 сек. оптически несложный алюминиевый слой. Такое короткое время нанесения покрытия трудно представить для лишенных поглощения окисных слоев при нанесении просветляющих покрытий. Рис. 9.
Несмотря на это не следует упускать из виду это интересное развитие для других видов применения.
Рис. б Двухдверная напылительная установка А 900 в исполнении для работы в наичистейших условиях
Рис. 8 Многокамерная проходная напылительная установка
Рис. 9 Установка для нанесения покрытий на компактные диски, работающая короткими циклами
Рис. 13 Встроенные детали установки А 1100 с ионным источником Кауфманна чаях слой не является свободным от адсорбции. При напылении с помощью ионного луча получается однородный слой с показателем преломления 2,47. Исследование было проведено в напылительной установке А 1100 с ионным источником Кауфмана. См. рис. 13.
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.