Автомат "Зонд-5А". Автомат "Зонд-5А" предназначен для контактирования при межоперационном контроле параметров интегральных структур на подложке с максимальным размеров контактной площадки 80x80 мм.
Основные параметры автомата:
1. Режим работы - наладочный автоматический.
2. Кинематическая производительность при шаге координатного стола 1мм - до 35000 цикл/час.
3. Количество устанавливаемых зондовых головок - 60.
4. Количество маркирующих головок – 4.
5. Ход координатного стола в рабочей зоне - 120х120 мм.
6. Диапазон регулирования шага перемещений предметного стола с дискретностью 0.01мм - 0,5……9,99мм.
7. Погрешность перемещения координатного стола ± 0,012 мм.
8. Максимальная скорость перемещения - 40 мм/с.
9. Высота подъема предметного стола - 0,3 ± 0,02 мм.
10. Непараллельность рабочей поверхности координатного стола относительно плоскости его перемещения - не более ± 0,001 мм.
11. Наименьшее расстояние между двумя соседними зондами – 0,3мм
12. Электрическое сопротивление изоляции между измерительными цепям головок – не менее 5х109 Ом.
Назначение
1 Автомат предназначен для контактирования при межоперационном контроле параметров интегральных микроструктур и полупроводниковых приборов на полупроводниковой подложке с минимальным размером контактной площадки 80х80мкм.
2 Питание автомата осуществляется от сети переменного тока напряжение 220±22 В частотой 50 Гц.при качестве электроэнергии по ГОСТ 13109-67.
3 Для эксплуатации автомата к нему должна подводиться вакуумная магистраль с абсолютным давлением 33300 Па
Назначение и составления части блоков и узлов, входящих в структурную схему:
Панель управления 5 предназначена для размещения основных органов оперативного управления автоматом.
Сюда входят:
- переключатель режимов работы: "НЕПРЕРЫВНО", "ОРИЕНТИР.", "МЕДЛЕННО", "ОЧЕНЬ МЕДЛЕННО", "ШАГ", "АВТОМАТИЧ.", "ВНЕШН. УПРАВЛ.";
- переключатели "ПУСК" выбора направления по осям "X" и "Y";
- кнопка "СТОП" прерывающая работу автомата в режимах "АВТОМАТИЧЕСКОЕ УПРАВЛЕНИЕ" и "ВНЕШНЕЕ УПРАВЛЕНИЕ";
- переключатель "I-2 СКОР." при помощи которого можно выбрать скорости перемещения предметного столика 10 мм/с и 40мм/с:
в режиме "ОРИЕНТИРОВАНИЕ" по оси "X" с управлением по оси "Y" в режиме "МЕДЛЕННО" ;
в режиме "АВТОМАТИЧ" и "ВНЕШНЕЕ УПРАВЛЕНИЕ" по оси "X" и Y";
- кнопка "Z-ПОДЪЁМ" для поднятия предметного столика , а при последующем нажатии на неё его пускания;
- кнопка "КОНТРОЛЬ МАРКЕРА" для проверки и наладки маркирующих головок.
Блок управления 4 содержит в себе "БЛОК ЭЛЕКТРОННЫЙ", "БЛОК ПИТАНИЯ" и вспомогательные органы:
управления -"СЕТЬ" (вкл./выкл.), "МИКРОСКОП" (вкл./выкл.), регулирование шага перемещения координатного стола с дискретностью 0,01 мм: "Х-ось" и "У-ось", установка на программном переключателе "Х-дополнительный шаг" число шагов за край пластины;
сигнализации - "ОКОНЧАНИЕ ИЗМЕРЕНИЯ", "Х-ось направление← →" и "У-ось направление ↓ ↑" и т.д.
Манипулятор. Манипулятор предназначен для перемещения стола предметного по осям Х и У с высокой степенью точность. Он состоит из верхний1 и нижний 2 кареток, которые перемещаются по призматическим направляющим Х и У от шаговых двигателей. Питание шаговых двигателей в режимах "МЕДЛЕННО" и "ОЧЕНЬ МЕДЛЕННО" осуществляется от генератора низкой частоты 10-16 Гц. Ограничение хода кареток осуществляется микровыключателями. Блокировка пуска шаговых двигателей запрещает работу по перемещению при поднятом столе.
Столик предметный предназначен для закрепления и вертикального перемещения проверяемой пластины и крепится к верхней каретке манипулятора.
Проверяемая пластина (плата) устанавливается на столлик и закрепляется вакуумом в полости А.
Ориентирование производится поворотом щитка в пределах 15 градусов. Фиксация поворотной части предметного стола от произвольного разворота осуществляется вакуумом в полости В.
Перемещение столика вверх (по оси Z) от электромагнита. Величина хода столика не более 0,3мм регулируется выставлением упора. Для предотвращения жесткого удара проверяемой пластиной о зонды служит воздушный демпфер и резиновый амортизатор. Верхнее и нижнее положение стола регистрируется перекрытием оптической цепи "ИК-светодиод – фотодиод".
Держатель головок предназначен для закрепления контактирующих устройства, маркеров, датчиков края, розеток, жгута и вилок зондовых цепей. В качестве датчика края используется контактирующее устройство с электрически изолированным зондом. При подъеме столика пластина перемещает зонд вверх и при этом размыкает контакты датчика края. Если при подъеме столика не происходит размыкания контактов, значит датчик края находится за краем пластины. Наличие пластины сигнализируется лампой "ДАТЧИК".
ПОДГОТОВКА К РАБОТЕ.
1. Установите на держателе необходимые контактирующие устройства и маркеры. Подсоедините штепсели устройств контактирующих к розеткам и вилки маркеров к розетке 1П, 1Л или 2П, 2Л.
2 Установите на столик предметный и закрепите проверяемую пластину, включив клапан "Фиксация пластины" (в лабораторном варианте вакуум отсутствует), и осторожно, чтобы не повредить зонды, опустите держатель в нижнее положение; механизм перемещений 9 (рис 1) заранее установите в положение , соответствующее верхнему рабочему положению держателя .
3. Включите питание автомата тумблером "Сеть" и подсветку оптической головки (микроскопа) тумблером "Освещение", установите головку микроскопа в рабочее положение.
4. Кнопкой "Z-подъем" поднимите столик предметный и , наблюдая через оптическую головку , опустите держатель с помощью механизма перемещений (вращая лимб по часовой стрелке) до касания зондами поверхности проверяемой пластины (платы).
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.