Рисунок 2.1.2.1
Взаимное расположение эллиптического пучка, трещины и края материала, распределение мощности.
Применяется совместно с предыдущим способом. Для эксперимента использовался лазер с распределением «точка с кольцом», изменение распределения производилось с помощью экранов из листового алюминия, закрепленных на пути луча, между объективом и образцом, на расстоянии 4-5 мм от поверхности материала, или вблизи объектива, или непосредственно на поверхности материала.
(привести таблицу)(привести фото)(привести профиль)
Способ дал неплохие результаты (уточнить цифру).
Достоинства: простота,
Недостатки:
(дополнить)
Совмещение двух пучков.
1. Зачем нужно совмещение
2. Одновременный проход двумя пучками
3. Проход зоны реза поочередно двумя пучками
1. Зачем нужно совмещение.
Для разделения материала на пластины с помощью параллельного термораскалывания требуется эллиптический пучок лазерного излучения такой же ширины, как и ширина обрабатываемого образца. Необходимо обеспечить определенную плотность мощности на поверхности материала. Пластина должна быть ровной, это означает, что трещина должна проходить на одной и той же глубине, а для этого необходимо каким-то образом глубину регулировать. Условия образования трещины отличаются в толще материала и на его краях. Плюс к тому, при необходимости разделять не прямоугольные образцы, а круглые були, встает задача изменения ширины пучка при перемещении. Для того, чтобы иметь возможность обрабатывать заготовки с различными геометрическими размерами, также нужно изменять ширину пучка.
Регулировать распределение плотности мощности на поверхности можно несколькими способами:
1) сделать широкий луч с постоянным распределением мощности по полю, и затем регулировать плотность мощности экранами;
2) использовать не один широкий луч, а несколько узких, идущих параллельно и регулировать интенсивность каждого луча;
3) использовать один узкий луч, разворачиваемый по поверхности заготовки сканером. Излучение модулируется по мощности либо изменяется скорость движения луча в различных точках. Скорость развертки достаточно большая для того, чтобы поверхность не успевала остыть между двумя проходами луча;
4) использовать луч, последовательно проходящий необходимые участки заготовки. Отличие от предыдущего способа в том, что поверхность успевает разогреться достаточно для образования трещины;
Отличие третьего и четвертого способа в различной скорости движения луча. Разворачиваемый сканером пучок движется достаточно быстро для того, чтобы создаваемая им картина напряжений в стекле выглядела так же, как и создаваемая одним пучком больших размеров. С другой стороны, можно перемещать луч настолько медленно, чтобы картина температурных напряжений успевала стабилизироваться и возникла параллельная трещина, смыкающаяся с предыдущей трещиной.
Для определения условий, при которых параллельные трещины смыкаются, было проведено несколько экспериментов. В одном из них (в перечне способ номер 2) использовалось два лазера, создававших на поверхности материала два пучка излучения. Интенсивность и форму каждого пучка, расстояние между пучками можно было изменять.
Оптимизация включает в себя: (дополнить).
В заключении обобщены основные результаты исследований автора. Разработанная автором новая технология по своему уровню превышает результаты лучших мировых достижений.
В процессе исследований получены следующие результаты:
1. Технологический процесс разделения полупроводниковых материалов с помощью ЛПТ.
2. Оптимальные режимы ЛПТ для получения деталей с заданными параметрами поверхности.
3. Способ нанесения дефекта.
4. Математическая модель ЛПТ.
Основные результаты диссертации отражены в следующих работах:
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.