(Технический университет)
« Расчет резистивного нагревательного устройства »
ПО КУРСУ:
«Расчет и проектирование нагревательных устройств и газовых систем оборудования»
Выполнил:
группа ЭТМО-53а
Проверил: Самойликов В.К.
Задание.
В
рабочей камере диффузионной окислительной печи производится термическая
обработка (при температуре 
)
n подложек диаметром dпл, размещаемых на кварцевом
подложкодержателе.
Выполнить тепловой расчет термического модуля печи и определить:
- конструктивные размеры печи;
- температуру печи;
- температуру нагревателя;
- температуру газа-носителя на выходе из печи;
- установленную мощность печи;
Построить также графики кинетики разогрева печи и изделий.
Предложены следующие данные:
1
Производительность
n=100 
2 Диаметр обрабатываемых подложек Dпл =200 мм
3 Шаг между подложками s=10 мм
4
Температура обработки подложек =1100°С
5
Температура загрузки подложек
=600°С
6
Температура окончания 1-го этапа нагрева 
=950°С
7 Температура коха печи tкох=60°С
8 Температура окружающей среды tок=25°С
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.