Расчет резистивного нагревательного устройства, страница 2

     9 Газ-носитель (ГН)                                                                              воздух

    10 Температура ГН на входе в печь                                                   tг=25°С

    11 Излучательная способность материала стен печи                       e=0,65

    12 Время выдержки подложек                                                            tв=60 мин

    13 Время отсасывания печи                                                                tо=40 мин

    14 Время простоя печи                                                                         tпр=30 мин

При проведении расчетов использовать следующие дополнительные сведения:

-  толщина подложек (dпл) может быть выбрана из следующего соотношения dпл»0,004 Dпл;

-  излучательная способность материала подложек eпл=0,70;

-  плотность материала подложек  r=2330 кг/м3;

-  удельная теплоемкость материала подложек   Сsi»2000 Дж/кг×К;

-  удельная теплоемкость материала подложкодержателя  СПД»2400 Дж/кг×К;

-  средняя удельная теплоемкость газа-носителя   Сp(воздуха)»1050 Дж/кг×К;

-  теплопроводность воздуха при нормальных условиях  l=0,026 Вт/м×К.

Теплофизические свойства конструкционных и обрабатываемых материалов:

Кремний

Кварц

Воздух

Теплоизо-

ляция

Нагрева-

тель

Плотность

r

кг/м2

2300

2655

1,29

200

7750

Теплоем-

кость

Ср

Дж/кг град

2000

1560

1050

1100

600

Теплопро-

водность

l

Вт/м град

25

2,5

0,05

0,058+

+0,19.10-3tср

27

Кинемати-

ческая вяз-

кость

n

м2

-

-

14,6.10-6

-

-

Уд. эл. соп-

ротивление

r

Ом.м

-

-

-

-

1,35