Устаткування для проведення процесу фотолітографії, страница 3

Для установки робочої поверхні напівпровідникової пластини паралельно площини|плоскість| фотошаблону і забезпечення щільного контакту між ними при експонуванні служить механізм вертикальних переміщень, пластина встановлюється в механізмі і закріплюється за допомогою вакууму на столику з|із| сферичною опорою. Сферична опора на повітряній подушці товщиною            10—15 мкм| гарантує автоматичну орієнтацію робочої поверхні пластини при її контакті з|із| площиною|плоскістю| фотошаблону. У цьому положенні|становищі| опора фіксується і при подальшому|дальшому| переміщенні столика у вертикальному напрямі|направленні| робочі поверхні пластини і фотошаблону залишаються паралельними.

До точності механізму вертикальних переміщень пред'являють високі вимоги. Приклад|зразок| конструктивного оформлення цього механізму в установці суміщення|сполучення| н експонування типу|типа| ЕМ-576 показаний на рис. 8. У цій установці механізм вертикальних переміщень служить для підйому або опускання напівпровідникових пластин з метою створення щільного контакту або заданого зазору з|із| фотошаблоном. Вертикальне переміщення напівпровідникової пластини, які знаходяться| в каретці  1 механізму транспортування, здійснюється через чашку 3 і сферу 2 повзуном 16, який приводиться в дію кулачком 7 від штока 15 з|із| пружиною 4. У свою чергу кулачок 7 отримує|одержує| переміщення від шестерень 13 і 14 приводу 14.

Рисунок 8 – Механізм вертикальних переміщень напівпровідникових пластин установки ЕМ-576: 1 – каретка; 2 – сфера; 3 – чашка; 4 – пружина; 5 – пневмопривод; 6 – фіксатор; 7 – кулачок; 8 – диск; 9 – датчик; 10 – приводом; 11 – диск; 12 – датчик; 13, 14 – шестерня; 15 – шток; 16 – повзунок; 17 – корпус

Кулачок 7 має косий зріз і вісім горизонтальних майданчиків, створюючих між напівпровідниковою пластиною і фотошаблоном різні зазори (від 0 до          50 мкм|). При набіганні кулачка на ролик штока 15 відбувається|походить| його вертикальне переміщення, а разом з ним і повзунок 16 по тих, що направляють|спрямовують,скеровують| ковзання щодо|відносно| корпусу 17 механізму. Шток 15 фіксується в повзунці 16 в певному положенні|становищі| фіксатором 6, що спрацьовує від пневмоприводу| 5.

На шестерні 14 закріплений диск 8, що має декілька певним чином розташованих|схильних| отворів, що є|з'являються,являються| колом|кілком| для датчика 9. Датчик 9, спрацьовує, подає сигнал про зупинці| куркулька 7. Кожне положення| кулачка контролюється датчиком|| 12 за допомогою диска 11, пов'язаного з механічно приводом 10.

Робочий зазор між напівпровідниковою пластиною і фотошаблоном настроюють|набудовують,налаштовують|, пересуваючи планку, що знаходиться|перебуває| на диску 11.

Механізм вертикальних переміщень встановлений|установлений| на диску маніпулятора, який можна повертати в направляючих|спрямовувати,скеровувати| підшипниках навколо|навкруги,довкола| вертикальної осі для усунення кутової помилки суміщення|сполучення|. У свою чергу|своєю чергою,в свою чергу| диск з|із| механізмом вертикальних переміщень встановлений|установлений| па плиті маніпулятора, що має можливість|спроможність| переміщатися по двох взаємно перпендикулярним|перпендикуляр| координатам Х і Y в прецизійних напрямленнях|спрямовують,скеровують|. Ці рухи дають можливість|спроможність| операторові сумістити|поєднувати| малюнки на пластині і фотошаблоні. Конструкції пристроїв|устроїв| для здійснення прецизійних лінійних і кутових переміщень показані на рис. 9. Контроль за точністю суміщення|сполучення| здійснюють по збігу реперних знаків через одно-| або двопільний оптичний мікроскоп. Після|потім| завершення операції мікроскоп відводять убік і замінюють освітлювальним пристроєм|устроєм|, який має джерело ультрафіолетового випромінювання, наприклад, ртутно-|кварцеву лампу високого тиску|тиснення| типу|типа| ДРШ-250 або ДРШ-500, конденсор і затвор, об'єднані|з'єднані| в єдиний блок.

Рисунок 9 – Конструкції пристроїв для здійснення прецизійних переміщень:

а – лінійних; 1 – втулка; 2 – штиф; 3 – корпус; 4 – втулка зі шкалою; 5 – віджимна втулка; 6 – барабан; 7 – микровинт; 8 – втулка; 9 – опорна втулка; 10 – повзун; 12 – упорна втулка.

Рівномірна освітленість по полю экспонирования| — одна з основних умов якісного виконання експонування.