Рабочая программа учебной дисциплины "Физическая химия газотранспортных процессов" (Внешние требования. Особенности (принципы) построения дисциплины. Содержание и структура учебной дисциплины)

реакторах атмосферного давления (РАД) и пониженного давления (РПД).

5

О методологии исследования и оптимизации многофакторных физических и химических процессов.

6

О возможности получения аналогичных структур с помощью различных физических и химических процессов и зависимости параметров таких структур от способа получения.

7

О специфических особенностях и требованиях к применяемым процессам (например, особые требования к чистоте исходных материалов, технологических сред и продуктов реакции, воспроизводимости и совершенству получаемых структур).  

8

О современных теориях и гипотезах, объясняющих наблюдаемые закономерности процессов.

9

О методах контроля и регулирования параметров химических процессов и продуктов реакции (структур).

10

О способах глубокой очистки используемых материалов и технологических сред, борьбы с загрязнениеим структур в процессе получения и во время дальнейшего прохождения маршрута.

знать

11

Кинетику, основные закономерности гетерогенных реакций, лежащих в основе типовых технологических процессов изготовления структур ИМС.

12

Кинетику диффузионных процессов в газах и твердых телах.

13

Зависимость характеристик структур от способа получения (например, электрофизические характеристики p-n переходов, полученных осаждением из газовой фазы, диффузией, ионным легированием пленки двуокиси кремния, полученные термическим окислением в сухом и влажном кислороде, осаждением из газовой фазы в хлоридном и гидридном процессах.

14

Методологию оптимизации технологиеских процессов с применением моделирования.

15

Основные инженерные методы расчетов технологических режимов расхода реагентов, количественной оценки вклада диффузионной и кинетической составляющих в суммарную скорость процесса, физико-химические модели для статистического моделирования важнейших технологических операций, перераспределения загрязнений при термообработках.

16

Об особенностях протекания реакций в открытых (проточных) системах, в реакторах атмосферного давления (РАД), пониженного давления (РПД).

17

Кинетику, основные закономерности гетерогенных реакций, лежащих в основе типовых технологических процессов изготовления структур ИМС.

уметь

18

Оптимизировать технологический процесс (критерии – длительность, воспроизводимость и выход годных структур).

19

Рассчитать основные технологические параметры процесса с учетом газодинамических характеристик, расходов и режимов установки.

20

Рассчитать основные характеристики вакуумных установок и РПД (скорость откачки, пропускная способность, натекание и его влияние на скорость откачки