«В. Ввод исходных данных, определение скорости роста и времени эпитаксии для номинальных значений параметров технологического процесса». Вводятся параметры технологического процесса и их разброс, задаётся закон распределения этих параметров (нормальный или равномерный), требуемое номинальное значение толщины и поле допуска, рассчитывается расход через испаритель и время процесса (для получения заданного номинала толщины). Количественные данные – в соответствии с табл. 4. 2.
«С. Проведение контрольных процессов». Цель этого раздела – проверить правильность выбранного режима на небольшом количестве процессов (10…20), разброс по толщине на разных ярусах, принять решение о работе на 1, 2 или 3 ярусах, при необходимости – откорректировать длительность процесса.
«D. Проведение рабочих процессов». По уточнённому режиму машина имитирует проведение достаточно большого (100…200) количества процессов и выдаёт: общее среднее значение толщины, среднеквадратичное отклонение от среднего, выход годных. Эти же данные выдаются для каждого яруса. По запросу пользователя выдаются также данные для построения гистограмм: для этого необходимо задать верхний и нижний пределы толщины, а также количество интервалов.
«Е. Расчёт коэффициентов влияния». В соответствии с данными, введёнными в п. В производится расчёт и выдача на экран коэффициентов влияния и суммарная погрешность скорости роста, обусловленная разбросом технологических параметров. Анализ этих данных позволяет обоснованно выбрать факторы, вносящие наиболее заметный вклад в разброс по толщине.
«*. Исследование зависимости скорости роста эпитаксиальной плёнки от основных параметров технологического процесса и конструкции реактора»:
«*F. V, DDS = F(TE)». Раздел предназначен для исследования зависимости скорости
роста и среднеквадратичного отклонения толщины от температуры эпитаксии. Для
работы необходимо задать начальную температуру и шаг её изменения. Так как
предусмотрено 10 шагов, то рекомендуется задать соответственно 
и 
(
). Более высокие и более низкие температуры
в промышленной практике обычно не используются. При выполнении раздела
предусмотрена корректировка длительности процесса, чтобы при различных скоростях
роста получались толщины плёнок, близкие к заданному номиналу. Разброс
параметров соответствует введённым при выполнении п. В.
В каждой точке задаётся по 10…20 процессов.
«*G. V, DDS = F(Q)» - аналогично п. *F. Задаётся начальное значение (500…1000 л/ч) и шаг - 500…1000 л/ч, предельное значение – 10000 л/ч. В этом разделе программы предусмотрена автоматическая корректировка расхода через испаритель с тем, чтобы сохранить постоянство концентрации реагента в ПГС при изменении расхода (см. выражение (3)). Остальные параметры и разбросы – введённые в п. В.
«*H. V, DDS = F(θ)» -
зависимость от угла наклона образующей подставки от вертикали. Диапазон
изменения угла θ 
. Шаг - 
.
«Z. Окончание работы» - после него следует стандартная процедура окончания работы за терминалом. После выполнения каждого раздела машина возвращается в начало программы (кроме раздела Z, когда работа считается законченной), т. е. на экран вновь выводятся разделы программы, и машина запрашивает, по какому разделу осуществляется следующий этап работы. Возможно также повторение уже проработанного раздела (например, после получения результатов по разделу D, можно вновь обратиться к нему же, изменив, например, количество рабочих процессов, либо дополнительно затребовав вывод данных для построения гистограммы, изменив диапазон и количество интервалов.
При
задании нормального закона разброса параметра в качестве среднеквадратичного
отклонения при моделировании используется величина 
; при
равномерном 
.
При
необходимости детального исследования зависимости скорости роста и разброса
толщины от других параметров технологического процесса, не охваченных разделом
*, следует снимать зависимости 
, 
, последовательно изменяя величину 
(в разделе В) и выполняя раздел С по 10…20
опытов в каждой точке.
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.