Основы технологии изготовления приемного модуля СВЧ в микрополосковом исполнении, страница 3

сернокислая медь - 200 г/л,

серная кислота — 50 г/л,                                         

вода - до 1 л.

Температура электролита 18°С. плотность тока 0,5 - \А I дм¹.

После меднения пластина тщательно промывается проточной, а затем дистиллированной водой и влажной погружается в ванну для серебрения. Серебрение проводится в электролите, в состав которого входят следующие компоненты:

азотнокислое серебро - 50 г/л,

калий роданистый - 80-100 г/л,

калий углекислый -8-10 г/л,

Рабочая температура - 18-25°С,

Плотность тока - 0,3-0,4 А/дм².

4.4 Технологический процесс получения рисунка микрополосковой схемы

Металлизированная поверхность. пластины покрывается слоем фоторезиста методом центрифугирования. В качестве фоторезиста используется 20% раствор нафтохинондиазидсульфоэфирновалона (НХДСЭН). Растворителем служит диоксан. Фоторезист наносится при скорости вращения центрифуги 2100-2200 оборотов в минуту, слой фоторезиста при этом имеет толщину 3-4 мкм. Пластина, с нанесенным слоем фоторезиста, сушится на воздухе при комнатной температуре 15 минут и 30 минут в сушильном шкафу при температуре 100°С., после этого, на поверхность подложки накладываются фотошаблон с изображением топологического чертежа схемы и облучают параллельным пучком света от ультрафиолетового источника ДРШ-500. Время экспонирования 20-30 секунд. Далее фоторезист проявляют в 2% растворе тринатрий фосфата при температуре 30°С и промывают под струей водопроводной, а затем деионизированной воды. Для придания кислостойкости оставшиеся участки фоторезиста задубливаются при температуре 140°С  в течении одного часа. На незащищенные фоторезистом участки металлизации травятся послойно, при использовании направленного ультразвукового поля в области травления, создаваемого прибором УП-1-04.

Серебро травится в травителе следующего состава:

10% водный раствор гипосульфита натрия,

10% водный раствор красной кровяной соли.

Растворы смешиваются в пропорции 1:1 непосредственно перед травлением.

Для травления меди используется травитель в состав которого, входит:

хромовый ангидрит - 450 г/л,

серная кислота - 70 мл.

Оба хранителя имеют большую скорость травления, что обеспечивает получение достаточно ровных боковых поверхностей полосковых линий.