Блок-схемы системы доставки суспензии на предприятие ОАО «Микрон», страница 4

Последний метод контроля качества суспензии это отбор проб из специальных точек отбора проб. Полученная проба посылается на анализ в лабораторию где происходит анализ данной пробы, и составляется протокол с информацией обо все параметрах суспензии. самые важные параметры такие как гранулометрия. !!!!!! это анализ…

Аварийные режимы работы оборудования(системы доставки суспензии)

Поскольку основное высоко технологическое производство пластин по технологии ерропром является непрерывным техническое обслуживание системы доставки хим.реагентов затруднено. Чтобы избежать данной проблемы оборудование используется специальные аварийные режимы. Такие режимы позволяют производить техническое обслуживание системы (отдельных основных компонентов). Всего в данной системе предусмотрено  три аварийных  режима:

1)  Режим доставки суспензии без системы регулирования давления.

2)  Режим доставки суспензии только с двумя работающими сосудами.

3)  Доставка суспензии миную сосуды напрямую из дневного танка.

Режим доставки суспензии без системы регулирования давления.

В случае выхода из строя одного или нескольких датчиков давления система автоматически переключается на режим регулирования давления с заранее заданными параметрами давления. Данные заданные параметры Устанавливаются для каждой системы индивидуально в зависимости от конфигурации трубопроводов на предприятие.

Режим доставки суспензии только с двумя работающими сосудами.

Если система определяет отклонения в работе сосуда в любом из двух режимов: доставки суспензии или заполнения суспензии. Тогда система отключает данный сосуд от системы и оборудование продолжает доставку суспензии с помощью двух сосудов. В данном случае выводится сигнал тревоги «поломка сосуда». Поломка сосуда может определятся по отклонению различных параметров, например, время заполнение сосуда суспензией дольше определенного значения, низкий расход суспензии из сосуда, сверх высокий уровень суспензии в сосуде, сверх низкий уровень суспензии в сосуде, наличие пузырьков в сосуде. Система осуществляет доставку двумя сосудами до тех пор пока неисправный сосуд будет починен либо заменен на новый. 

Доставка суспензии миную сосуды напрямую из дневного танка.

Если одновременно произойдет поломка более одного сосуда, либо произойдет поломка сосуда одновременно с выходом из строя одного или нескольких датчиков давления тогда система переключается в режим доставки суспензии миную сосуды на прямую из дневного танка. Основной недостаток данного режима это то что в данном режиме невозможно использовать петлю рециркуляции. Следовательно, без рециркулирования суспензия может застаиваться в трубопроводах что может привести к забиванию трубопроводов или ухудшения качества суспензии. Поэтому в данном случае такие поломки должны быть устранены с большей скоростью.

Основные механизмы  и принципы доставки суспензии.

В данном разделе будет представлены диаграммы иллюстрирующие основные этапы и принципы доставки суспензии используемые в данной системе. Механизм доставки суспензии основан на использование малых сосудов под давлением. Во время заполнения сосуда разность значений давлений в сосуде и дневным танком составляет примерно 0.5 бара. Данное значение перепала гарантирует приемлемую скорость заполнения сосуда суспензией. Разность между значениями давления в сосудах использующихся в доставки и дневным танком задается в зависимости от конфигурации и длинны  трубопроводов в оборудование.  Однако в общем система сконфигурирована таким образом чтобы заполнение сосуда происходило быстрее чем его опорожнение.

Рис. 1 Первый этап доставки суспензии

На рис.1 видно что первый сосуд заполняется из дневного танка. Сосуд номер два используется для доставки суспензии. А сосуд номер три полностью заполнен суспензией и находиться в состояние ожидания.

Рис. 2 Второй этап доставки суспензии

Сосуд номер оди находиться в состояние ожидания поскольку он заполнился в суспензией на предыдущем этапе. Сосуд номер два находиться в состояние доставки однако суспензия в нем уже заканчивается и вскоре он перейдет в режим заполнения суспензией из дневного танка. Поскольку сосуд два заканчивается то к доставки подключается сосуд номер три. Одновременная работа сосудов два и три необходима для избегания скачков давления в сети доставки.

Рис. 3 Третий этап доставки суспензии

На данном этапе сосуд номер один находится в состояние ожидания доставки суспензии. Сосуд номер два заполняется суспензией из дневного танка. Из сосуда номер три осуществляется доставка суспензии к технологическому оборудованию.

Рис. 4 четвертый этап доставки суспензии

Из сосуда номер один осуществляется доставка суспензии к основному технологическому оборудованию. Сосуд номер два находится в состояние ожидания. Сосуд номер три заполняется суспензией из дневного танка. Таким образом, чередование данных четырех шагов позволяет обеспечить непрерывную доставку суспензии к основному технологическому оборудованию.